Im Rahmen des 8. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration 2020 ist das CiS Forschungsinstitut mit zwei spannenden Kurzvorträgen vertreten. Am Donnerstag, 17. September referiert erst Dr. Thomas Frank über „Kraft- und Wegsensor zur Nanoindentierung“. Zur Bestimmung der Härte stehen verschiedene Methoden zur Verfügung. Vorgestellt wird eine neuen Sensoranordnung, die dem „Abbeschen Komparatorprinzip“ entspricht. Als Sensor wird ein Dehnungsmessstreifen auf Siliziumbasis mit 4 Messbrücken verwendet.
Anschließend präsentiert Julia Baldauf aktuelle Forschungsergebnisse zu „Laserinduzierte periodische Oberflächenstrukturen auf Basis von Molybdän Silizid Dünnschichten“. Eindimensionale Molybdän- und Molybdänsilizidnanostrukturen sind auf Grund der CMOS-Kompatibilität der Materialien interessant für Heizerstrukturen. Es werden eindimensionale Nanostrukturen auf Basis dieser Materialien gezeigt, die durch Bestrahlung mit einem fs-Laser erzeugt wurden. Außerdem wurde die notwendige Fluenz für die Ausbildung dieser Strukturen auf amorphen Molybdänsilizidschichten ermittelt.
Die Online-Fachtagung wird von der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik in Zusammenarbeit mit Ruhr-Universität Bochum veranstaltet.
