Neuartige Gravitationssensoren zur hochgenauen Erkundung der geologischen Gegebenheiten der Erdoberfläche

25.05.2021

Die Quantentechnologie ist einer der Innovationstreiber des 21. Jahrhunderts. Die Quantensensorik beschäftigt sich mit der Entwicklung von Sensoren, die im Vergleich zu bisherigen Sensoren um ein Vielfaches präziser sind, keine Kalibrierung benötigen und dauerhaft zuverlässige und stabile Signale liefern. 

Vor allem in den Feldern Messtechnik, Medizintechnik und Mikroskopie wird die Quantensensorik zukünftig etablierte Technologen und Verfahren ablösen. Das Video zeigt eine schwingende Masse aus Silizium. Sie ist an Federn aufgehangen, die monolithisch aus demselben Einkristall bestehen. Im Rahmen des Projektes M-Gravi entwickelt das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik neuartige Gravitationssensoren zur hochgenauen Erkundung der geologischen Gegebenheiten der Erdoberfläche. Die Sensoren bestehen aus vier einzelnen Siliziumwafern und nutzen eine Stapeltechnologie auf Wafer-Level.





Die beschriebenen Forschungs- und Entwicklungsarbeiten werden im Forschungsprojekt „MEMS-Gravimeter“ (M-Gravi) durch das Bundesministerium für Wirtschaft und Energie (BMWi) gefördert. FKZ: 49VF180006