Förderung von Forschung, Technologie und Innovation (FTI-Richtlinie) - INKO

 

 

 

Projekt: Innovation durch Kooperation auf dem Gebiet der Halbleitertechnologien (INKO)

Vorhabens- Nr.: 2021 WIN 0028

Für eine wirtschaftliche Umsetzung von Sensortechnologien auf Forschungsebene werden Industrieanlagen benötigt, die eine Implementierung neuester Forschungsergebnisse zulassen sowie standardisierte Prozessabläufe bei gleichbleibender und reproduzierbarer Qualität gewährleisten. Mit Unterstützung des Landes Thüringens kann das CiS Forschungsinstitut in ein modernes LPCVD-System (LPCVD - Low Pressure Chemical Vapor Deposition) investieren. Mit der neuen Anlage unterstreicht das CiS Forschungsinstitut seine Brückenfunktion als Partner bei der Überführung von Ergebnissen der Grundlagenforschung in anwendungsfähige Technologien für die Industrie, vor allen der Thüringer KMUs und ihrer Kooperationspartner auf dem Gebiet der Sensorik.

Die Einführung dieser Technologie erlaubt die Abscheidung extrem dünner und sehr homogener Schichten.  Die Nutzung neuer technischer Gase und eine optimierte Gasverteilung werden im Bereich der Schichtentwicklung neue innovative Technologieoptionen ermöglichen. Damit steigert das CiS Forschungsinstitut seine Innovationskraft, um gemeinsam mit Thüringer KMUs neue Sensoren in den Bereichen MEMS und MOEMs zu entwickeln. So können zukunftsorientierte Lösungsvorschläge für die Industrieautomatisierung, die Energietechnik, die medizinische Messtechnik und die Sicherheitstechnik schnell zur Marktreife überführt werden.

Das Projekt „Innovation durch Kooperation auf dem Gebiet der Halbleitertechnologien (INKO)“ wird unter der Nummer 2021 WIN 0028 vom Freistaat Thüringen bzw. dem Thüringer Ministerium für Wirtschaft, Wissenschaft und Digitale Gesellschaft (TMWWDG) mit Landesmitteln gefördert und ist einem der fünf Schwerpunkte der Thüringer Innovationsstrategie zugeordnet.