Wir sind Ihr Partner für Industrieforschung und Entwicklung von siliziumbasierten Sensoren.
Sie profitieren von unserer langjährigen Erfahrung in der Entwicklung und Fertigung. Wir bieten eine geschlossene in-Haus-Wertschöpfungskette vom Design bis zur Fertigung.
Tätigkeitsschwerpunkte sind MEMS und MOEMS mit höchster Stabilität und Zuverlässigkeit.
Sie erhalten angepasste kundenspezifische Lösungen für Ihre Sensorsysteme, sowie die Fertigung in Kleinserien und die Qualifikation der Zuverlässigkeit und Lebensdauer.
Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH ist zertifiziert nach DIN EN ISO 9001:2015
Aktuelles
Packaging Technologie für thermische Fluss-Sensoren12. April 2024Das neu gestartete Projekt Pack-Flu befasst sich mit dem Entwurf, der Realisierung und Charakterisierung einer robusten und innovativen Packaging-Plattform für kostengünstige mikrokalorimetrische Durchflusssensoren auf MEMS-Basis für den Einsatz in Gasleitungen oder Lüftungssystemen. Die Plattform dient als skalierbare Grundlage für Fluss-Sensoren zur Analyse und Steuerung von Luftströmung, Wasserstoff und anderen nicht-aggressiven Gasen mit bekannter Strömungsrichtung (z.B. in Pipelines) mit hoher Genauigkeit [weiterlesen]
MEMS-Pirani-Sensor für das Fein- und Hochvakuum4. April 2024Mit dem Vorhaben MinerVa startet das CiS Forschungsinstitut die Entwicklung eines MEMS-Pirani-Sensors für Druckmessung im Fein-Hochvakuumbereich. Die Anwendungsmöglichkeiten sind vielseitig, beispielsweise bei der Herstellung dünner funktionaler Schichten mittels physikalischer Dampfphasenabscheidung (PVD) [weiterlesen]
Frohe Ostertage – Kreativer Wettbewerb für die Kinder unserer Mitarbeitenden2. April 2024Auch in diesem Jahr lud die Geschäftsführung des CiS Forschungsinstituts zu einer kreativen Mitmach-Aktion während des Osterzeit. Die Kinder aller Mitarbeitenden waren bis heute aufgerufen, selbstgemalte Bilder des Osterhasen oder österliches Selbstgebasteltes einzureichen. Für jedes teilnehmende Kind gab es eine süße Überraschung als Belohnung. In unserer Online-Galerie können die zahlreichen, kreativen Einreichungen der jungen Künstlerinnen und Künstler bestaunt werden [weiterlesen]
High-End-Beschleunigungssensoren27. März 2024Das Projekt beschäftigte sich mit der Entwicklung von kapazitiven Beschleunigungssensoren mit einer Auflösung von 0,001⁰ auf der Basis von Chip-Level-Prozessen. Hauptmerkmale sind eine deutlich erhöhte seismische Masse, ein lateral angeordneter Differenzkondensator, sowie ein hermetisches Package [weiterlesen]
Photoakustischer Gassensoren mit Referenzgassensor13. März 2024Im Mittelpunkt des abgeschlossenen Forschungsprojekts PAS stand die Entwicklung einer piezoresistiven Mikrofonkomponente auf Basis von mikromechanischen Systemen (MEMS) für hoch integrierte photoakustische Gassensoren. Der Sensor ist für einen Einsatzbereich von -40⁰C bis 140⁰C geeignet. Anwendungen liegen Bereich des Klima- und Umweltschutzes zur Verbesserung des Energiemanagements, der Prüfung der Luftqualität oder in der Medizintechnik als hochsensitive Atemgas-Sensoren. [weiterlesen]
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| 22.04.2024 - 26.04.224: Hannover Messe Hannover [+Cal] |
| 24.04.2024 - 25.04.2024: QNC Summit & FMD Innovation Day 2024 Berlin, Deutschland [+Cal] |
| 27.04.2024 - 04.05.2024: ICQMT 2024 - International Conference on Quantum Materials and Technologies Ölüdeniz, Türkei [+Cal] |
| 11.06.2024 - 13.06.2024: Sensor + Test Nürnberg [+Cal] |
| 01.09.2024 - 06.09.2024: The Applied Superconductivity Conference (ASC 2024) Salt Lake City, USA [+Cal] |
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