Leistungen
Das CiS Forschungsinstitut bietet eine professionelle Zusammenarbeit und Partnerschaft bei Forschung, Entwicklung und Serienfertigung in den Bereichen
- Mikromechanischer und Mikrooptischer Sensorsysteme (Micro-Electro-Mechanical Systems MEMS und Micro-Opto-Mechanical Systems MOEMS)
- Silizium-Detektoren
Das bedeutet u.a.
- Kunden- bzw. anwendungsspezifische Systemlösungen für Mikrosensorik und Mikrosystemtechnik zur Detektion physikalischer, chemischer, physiologischer und anderer Größen
- F/E-Leistungen zu Si-Technologie, Aufbau und Verbindungstechnik, Test und Analytik
- Applikations- und Forschungsverbünde ausgerichtet auf Bedarfe von KMU
- Optimierung von Device-Eigenschaften durch Defektengineering
orientiert auf Wachstumsfelder wie
- Energie/Klima
- Gesundheit/Ernährung
- Mobilität
- Sicherheit
- Kommunikation
- Materialeffizienz
Ausgewählte Beispiele:
| Leistung | Anwendungsfeld |
|---|---|
| Chip-in-Chip Montage | Optische Sender-Empfängerbaugruppen |
| Entwurf von Mikrosensoren und Modellbildung für Mikrosysteme | Industriemesstechnik |
| Entwicklung von Drucksensorchips Silizium Cantilever, Mikrotaster Strahlungsdetektoren | Prozessautomation Nano-/Mikro-Kraftsensorik Hochenergiephysik, LHC CERN Genf |
| Applikative Untersuchungen zu impedimetrischen Sensoren auf der Basis von kapazitiven Streufeldstrukturen | Feuchtesensorik |
| Entwicklung eines Im-Ohr-Sensors für Vitalparametermonitoring | Medizintechnik |
| REM, FIB | Halbleiter-Prozesskontrolle |
| 3D-Tiefenstrukturierung von Silizium | Hybride Mikrosysteme |