CiS MEMS Workshop: Entwicklungstrends bei piezoresistiven Silizium-Sensoren

Piezoresistive Sensoren werden seit vielen Jahren für die Messung verschiedener Größen eingesetzt. Ausgehend von der Simulation der gewünschten Parameter verbinden die Vorträge neuste Trends und Entwicklungen einzelner Wertschöpfungsstufen bis zum fertigen Sensor.
Ziel dieses Workshops ist der fachliche Austausch sowie die Vernetzung von Vertretern der Industrie und Wissenschaft aus dem Kreis der Methoden- und Geräteentwickler sowie der Technologieanbieter und Komponentenhersteller.
Nutzen Sie den Workshop um sich auf den neuesten Stand zu bringen, Ihr Netzwerk auszubauen und Partner für Ihre nächsten Schritte zu finden.

Der Workshop findet als Hybridveranstaltung am 14.10.2021 im CiS Forschungsinstitut in Erfurt statt. Veranstalter ist der CiS e.V.

 

 

 

Geplante Agenda

09:30 Uhr
Registrierung & Get Together       

10:00 Uhr
Begrüßung
Prof. Dr. Thomas Ortlepp, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

10:30 Uhr
Keynote: Silizium-Hochtemperatur-Drucksensorik
Prof. Dr.-Ing. Robert Täschner, Westsächsische Hochschule Zwickau
               

SESSION I-Entwicklungstrends in Sensortechnologien        

11:00 Uhr
Trends für MEMS-Drucksensorik im Automotive Bereich
Dr.-Ing. Markus Eberstein, TDK Sensors AG & Co. KG

11:25 Uhr
Einsatzmöglichkeiten von Kraftsensoren im Werkzeug- und Maschinenbau
Dipl.-Phys. Heinz-Wolfgang Lahmann, Stefan Marr, M.Sc., GFE - Gesellschaft für Fertigungstechnik und Entwicklung Schmalkalden e.V.

11:50 Uhr
Zukunft der Quantentechnologie in der Prozessautomatisierung
Dr. Mohammad Sadegh Ebrahimi, Endress+Hauser SE+Co. KG

12:15 Uhr
Elektrostatische Sensorsysteme – Funktionsweise und Anwendungsfelder
Dr.-Ing. Boris Goj, 5microns GmbH
               
12:40 Uhr
Mittagspause       
               

SESSION II-Kraftsensorik, mechanische Größen       

13:30 Uhr
Härteprüfung, Sensorik und Nahtstellen zu MEMS
Dipl.-Ing. Peter Beisel, KB Prüftechnik GmbH

13:55 Uhr
Piezoresistive 3D-Kraftsensorenund ihre Anwendung
Dr.-Ing. Thomas Frank, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

14:20 Uhr
Sensormodelle im digitalen Zwilling
Dipl.-Ing. Geert Brokmann, Dip.-Ing. Heiko Beinersdorf, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH, MFPA Weimar

14:45 Uhr
Passive Sensortelemetrie - Technologien und Systeme
Dipl.-Ing. Peter Peitsch, Micro-Sensys GmbH
               
15:10 Uhr
Kaffeepause       

               
SESSION III-Sensoren für Enerneuerbare Energie       

15:40 Uhr
MEMS-Sensorik in Elektrolyseuren
Dr. Heike Wünscher, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH

16:05 Uhr
Wasserstoffsensoren mit Pd - Ansätze für MEMS Technologien
Prof. Dr. Marion Wienecke, Materion GmbH

16:30 Uhr
Diskussion / Brainstorming

17:00 Uhr
Zusammenfassung
Prof. Dr. Thomas Ortlepp, CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH
               
17:15 Uhr
Ende der Veranstaltung