Modellierung in der Mikrosystemtechnik
In fast allen Geräten und Maschinen befinden sich Halbleiterbauelemente. Auf kleinstem Raum übernehmen sie spezifische Funktionen. Modellbildung und Simulation physikalischer und technologiescher Zusammenhängen sind eine Voraussetzung für die zielgenaue, effiziente und ressourcenschonende Entwicklung dieser Bauelemente.
Dr. Peter Schneider, welcher seit dem 1. März 2023 als Professor für Entwurfsmethoden für adaptive mikroelektronische Systeme am Institut für Feinwerktechnik und Elektronik-Design (IFTE) der Technischen Universität Dresden tätig ist, eröffnet mit seiner Keynote-Rede zum Thema Entwurfsautomation, den Vortragsreigen.
Zudem wird Bernd Michel, Hembach Photonics GmbH die Streulichtanalyse mittels optischer Software ein Grundlagenprogramm für die optische Systementwicklung vorstellen.
Der Workshop betrachtet speziell siliziumbasierte MEMS-und MOEMS-Bauelemente sowie Mikrosensoren und wird in drei Sessions die Themen
- Optische Simulationen für MOEMS
- Mechanische Simulationen für MEMS sowie
- Multidomain-Modellierung
vertiefen. Dabei werden unterschiedliche halbleiterphysikalische Simulationswerkzeuge sowie Einflüsse wie der Hanbury-Brown-Effekt oder die Kennlinienberechnung piezo-resistiver Widerstandsbrücken erörtert.
Der Workshop findet als Hybridveranstaltung am 26. September 2023 im CiS Forschungsinstitut in Erfurt statt. Veranstalter ist der CiS e.V.
