Modellierung in der Mikrosystemtechnik
Modellbildung und Simulation sind eine Voraussetzung für zielgenaue, effiziente und ressourcenschonende Entwicklung in der Mikrosystemtechnik. Die Modellierung physikalischer und technologischer Zusammenhänge von siliziumbasierten Mikrosensoren und Bauelementen sowie darauf aufbauenden Entwurfsprozesse stehen im Fokus dieses Workshops.
Innerhalb der drei Bereiche
- Optische Simulationen für MOEMS
- Mechanische Simulationen für MEMS sowie
- Multidomain-Modellierung
werden unterschiedliche halbleiterphysikalische Simulationswerkzeuge sowie Einflüsse wie der Hanbury-Brown-Effekt oder die Kennlinienberechnung piezo-resistiver Widerstandsbrücken vorgestellt.
Der Workshop findet als Hybridveranstaltung am 26. September 2023 im CiS Forschungsinstitut in Erfurt statt. Veranstalter ist der CiS e.V.
