Innovative Startmetallisierungen für belotbare Mikrokontakte
Akronym: | ISaBel | |
Projektlaufzeit: | 01.07.2014 - 31.12.2016 | |
Beschreibung: | Ziel des Projektes war die Entwicklung innovativer Startmetallisierungen als technologische Plattform für Anwendungen in der Mikroelektronik, Mikrosensorik sowie für Silizium-Solarzellen. Basierend auf galvanischer Metallabscheidung wurden Metallisierungskonzepte erarbeitet, welche eine hohe Haftfestigkeit, einen geringen Übergangswiderstand, einen niedrigen Leitungswiderstand in den Kontakten sowie ein hohes Maß an Kontrolle der Eindringtiefe ins Silizium bei gleichzeitigem Einsatz technologisch einfacher und kostengünstiger Prozesse gewährleisten. | |
Gefördert durch: | BMWI | ![]() |
Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
Förderkennzeichen: | MF140031 | |
Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser ehemaliges Geschäftsfeld Silizium-Detektoren |
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