
Infrarotes Mikrosensorsystem für die Fluidiküberwachung
/in Druck, MOEMSIm Verbundvorhaben OSCAR wird ein neuartiges optisches Hochdruck-Sensorsystem zur Inline-Überwachung technischer Fluide für reale Prozessbedingungen entwickelt. Ziel ist die Integration einer hochdruckstabilen optischen Küvette mit modularen optomechanischen Komponenten und integrierter Elektronik/Firmware in eine kompakte Einschraublösung. Dadurch werden reproduzierbare Messungen direkt am Prozess möglich – mit hoher Druck-, Temperatur- und Medienbeständigkeit – ohne zusätzlichen Installationsaufwand
Projektabschluss KoSenDi: Kompakte Sensoreinheit zur Messung von Magnetfeldern mittels Diamantfluoreszenz
/in MOEMSIm Forschungsprojekt KoSenDi wurden spezifische optische Detektoren entwickelt, die durch hohe Anwendungsspezifizität Performanceverbesserungen und Kostenvorteile erreichen. Eine teiltransparente Fotodiode kann die Anregungslichtstärke direkt im Strahlengang bestimmen und für die Fluoreszenzlichtanalyse wurde für die Unterdrückung des Anregungslichts eine Dünnschichtfiltertechnologie in eine Fotodiode integriert
Interaktive Experimente bei der Ilmenauer Wissenschaftsnacht 2026
/in Kraft, MEMS, VeranstaltungenZum Entdecken, Mitmachen und Staunen lud das CiS Forschungsinstitut am 20. Juni 2026 mit interaktiven Experimenten und Demonstratoren im Rahmen der Ilmenauer Wissenschaftsnacht ein. Besucherinnen und Besuchern aller Altersgruppen konnten in eine faszinierende Welt Forschung und Technik eintauchen. Wir präsentierten ein buntes Spektrum unserer siliziumbasierten Mikrosensorik zum Kennenlernen und Ausprobieren
Projektabschluss ApproxiSens: Entwicklung eines Kraftaufnehmers
/in Kraft, MEMSIm erfolgreich abgeschlossenen ZIM-Kooperationsprojekt ApproxiSens wurde ein neuartiges Messsystem für Härteprüfmaschinen entwickelt, welches die industrielle Härtemessung auf ein neues Qualitätsniveau hebt. Das neu entwickelte Messsystem für industrielle Härtemessungen erhöht die Durchsatzrate in Serienmessungen mittels einer präzisen Steuerung für hohe Geschwindigkeiten zur Annäherung des Indenters an die Prüfoberfläche
Makro-Performance mit 18 Laufbegeisterten beim RUN- Unternehmenslauf
/in CiS allgemeinBei der 17. Auflage des RUN-Unternehmenslaufs lief erstmals ein 18-köpfiges Team des CiS Forschungsinstituts die fünf Kilometer lange Strecke durch die wunderschöne, historische Altstadt von Erfurt. Das Team trug dabei einheitliche, blaue Shirts mit dem Slogan „Mikro-Sensoren, Makro-Performance!“
Projektstart ReSpektIS: Integrationskugel mit Speckle-Tech-Technologie für den Brechungsindex
/in MOEMSDas neue Forschungsprojekt ReSpektIS beschäftigt sich mit der Entwicklung einer neuartigen, kompakten optischen Komponente für ein Messsystem zur hochgenauen relativen Messung des Brechungsindex gasförmiger Medien beziehungsweise eines auf einer Ulbricht-Kugel basierenden Refraktometers zur hochsensitiven Brechzahlmessung gasförmiger Medien
Siliziumbasierte Mikrosensorik in Nürnberg auf der SENSOR+TEST
/in MEMS, MOEMS, VeranstaltungenVom 9. bis 11. Juni 2026 ist das CiS Forschungsinstitut erneut beim internationalen Treffpunkt für Sensorik, Mess- und Prüftechnik in Nürnberg als Aussteller dabei. Auf der SENSOR+TEST 2026 können interessierte Besucher in Halle 1 am Stand 501 auch in diesem Jahr unsere Experten treffen und neuste Forschungsergebnisse der siliziumbasierten Mikrosensorik diskutieren.
Auf der 23. ITG/GMA-Fachtagung „Sensoren und Messsysteme 2026“, der wissenschaftlichen Begleitkonferenz im Nürnberg Convention Center West (NCC West), ist das CiS Forschungsinstitut mit vier wissenschaftlichen Beiträgen vertreten
Projektstart Pash-Sense: Entwicklung eines hochempfindlichen Wasserstoffsensors auf Basis einer Palladium-Silizium-Schottky-Diode
/in WasserstoffFür die frühzeitige Detektion von Wasserstoff-Leckagen im Spurenbereich entwickelt das CiS Forschungsinstitut einen neuartigen, hochempfindlichen Sensor auf Basis einer Pd/Si-Schottky-Diode mit integrierter Heizstruktur. Um die für dieses Bauteil erforderliche fehlerfreie Fertigung abzusichern, kommt das im Investprojekt „TechWB“ neu bewilligte Waferinspektionssystem für die hochpräzise Defektanalyse im Submikrometerbereich zum Einsatz
Wettbewerbsfähiger Deutscher Quantenrechner (CoGeQ): Teilvorhaben mit Aufbau der Demonstratoren erfolgreich abgeschlossen
/in Photonik, Quanten, VeranstaltungenAuf der Quantum Photonics 2026 in Erfurt wurden Anfang Mai die Abschlussergebnisse der Forschungsarbeiten des Projekts „CoGeQ“ vorgestellt. Das Verbundprojekt hatte sich das Ziel gesetzt, einen mobilen spinbasierten Quantenprozessor auf Basis von NV-Zentren in Diamant zu demonstrieren. Das CiS Forschungsinstitut verantwortete den Bereich Aufbau- und Verbindungstechnik und entwickelte eine effiziente Montage der Schichtstapel aus Diamantchip und Siliziuminterposer
Projektstart aQuSiS: Akzeptorbasierte Quantensysteme in Silizium
/in Messtechnik, QuantenAls Grundbaustein für siliziumbasierte Quantentechnologie werden aktuell Farbzentren wie das G- oder T-Zentrum in Silizium verwendet. Im Forschungsprojekt aQuSiS sollen erstmals Indium-basierte Akzeptor-Fehlstellen als leicht zugängliche Quantensysteme realisiert werden. Der Verständnisgewinn zum Aufbau sowie der Wirkungsweise dieses elementaren Quantenbausteins kann perspektivisch als Grundlage für eine fortgeführte Integration in moderne Quantentechnologien dienen











