Als Nachfolger des gleichnamigen BMBF-Konsortiums bündelt er die Kompetenzen aus Wirtschaft und Wissenschaft entlang der gesamten Wertschöpfungskette – vom Konzept über den UV-Halbleiter bis zu dessen Anwendung. In den neuen Vorstand wurde Dr. Olaf Brodersen, Senior Geschäftsfeldleiter MOEMS am CiS Forschungsinstitut, gewählt [weiterlesen]

Zwei Start-Ups aus Jena konnten sich gestern während der inzwischen vierten Auflage des Technologie-Wettbewerbs getstarted2gether einen LOI mit dem CiS Forschungsinstitut pitchen. Wir freuen uns auf eine sechsmonatige intensive Zusammenarbeit mit den Gründer-Teams der Coachwhisperer GmbH sowie der 4Pilots GmbH. Der mit 1.000 Euro dotierte Publikumspreis des FTVT ging ebenfalls an die Coachwhisperer GmbH [weiterlesen]

Das nächste kostenfreie MEMS-Online-Webinar ist für Donnerstag, 23. September 2021, 10:00 bis 11:00 Uhr geplant und behandelt „Piezoresistive Siliziumdrucksensoren für höhere Einsatztemperaturen bis ca. 300°C“ [Infos & Anmeldung]

Unser CiS MEMS Workshop beschäftigt sich am 14.10.2021 mit Entwicklungstrends bei piezoresistiven Silizium-Sensoren. Ausgehend von der Simulation der gewünschten Parameter verbinden die Vorträge neuste Trends und Entwicklungen einzelner Wertschöpfungsstufen bis zum fertigen Sensor. Als Hybridveranstaltung findet der Workshop im CiS Forschungsinstitut in Erfurt statt. Veranstalter ist der CiS e.V. [Infos & Anmeldung]

Die Grenzen Optischer Sensoren verschieben sich zu immer schnelleren, sensitiveren und spezialisierteren Lösungen, mit denen neue Methoden und wettbewerbsfähige Produkte ermöglicht werden. Unser CiS MOEMS Workshop: "Optische Sensoren und Systeme für Fluoreszenz sowie Streulicht" findet als Hybridveranstaltung am 30.09.2021 im CiS Forschungsinstitut in Erfurt statt. Veranstalter ist der CiS e.V. [Infos & Anmeldung]

Über „Sensorlösungen für die Vitalparametermessung im Ohr“ referiert Dr. Martin Schädel, Geschäftsfeldleiter MOEMS, in Stage 2 „Medical Technology: Microtechnology for Mobile Diagnostics and Therapy“ am Mittwoch, 25. August 2021 im Rahmen des IVAM Hightech Summit [weiterlesen]

Für Einsatztemperaturen bis etwa 300°C sind die neu konzipierten piezoresistiven Drucksensorchips mit analoger integrierter Temperaturkompensation geeignet. Basis ist eine intelligente Verschaltung der Messbrücke mit passiven Bauelementen [weiterlesen]

In der Kategorie „Innovatives Produkt oder Patent im Healthcare-Bereich“ zeichnet die Senetics Healthcare Group, die Entwicklung des optischen Blutdrucksensors am CiS Forschungsinstitut aus [weiterlesen]

Der Technologie Wettbewerb getstarted2gether geht in die 4. Runde. Vier Wochen lang haben technologieorientierte Gründerteams nun die Möglichkeit sich für Betreuungsprojekt an einer Thüringer Forschungseinrichtung (WINAFO) zu bewerben. In einem 10-minütigen Pitch wird das Gründungspotenzial präsentiert [weiterlesen]

Im Fokus steht die Entwicklung von Thermopiles mit speziellen Absorbern und deren Fertigung mit etablierten Halbleiterverfahren. Durch Simulationen und Experimenten mit Demonstratoren an ausgewählten Gasen soll die Funktion untersucht und verifiziert werden [weiterlesen]

Verschlüsselte Kommunikation mit Hilfe von Quantenprozessoren - Physikteam der Universität Jena und des CiS Forschungsinstituts wird für das Projekt „QuVeKS – Quantenprozessoren für verschlüsselte Kommunikation mit Satelliten“ mit hochdotiertem Innovationspreis „INNOspace Masters Award“ der „DLR Challenge“ ausgezeichnet [weiterlesen]

Auf Basis einer MEMS-Technologieplattform wurde ein Sensormodul entwickelt, das die Vorspannkraft und die Betriebskraft sowie ihre zeitliche Änderung bestimmt. Der Nutzer kann einen Messzyklus flexibel gestalten, wodurch größere Wartungsintervalle sowie die Möglichkeit der Ferndiagnose erzielt werden können [weiterlesen]

Die Referenten Dr. Martin Schädel sowie Dr. Andreas Winzer präsentierten am 14.07. 2021 ein Online Webinar zum Thema „3D strukturierte Photodioden“. Im knapp einstündigen Webinar berichteten sie anhand anschaulicher Beispiele über die Vielfalt neuer optischer Sensorlösungen durch Technologien zur 3D-Bearbeitung von Silizium [weiterlesen + Videomitschnitt]

Am 15.07.2021 wurde mit einem feierlichen Festakt das neue CiS Analytik Kompetenzzentrum durch Wirtschaftsminister Wolfgang Tiefensee eröffnet. Kernstück des Kompetenzzentrums ist ein hochauflösendes 3-dimensionales Sekundär-Ionen-Massenspektrometrie-System (SIMS Analyse Cluster), das als das modernste seiner Art im Umkreis von mehreren Hundert Kilometern gelten kann [weiterlesen]

In Folge der fortschreitenden Automatisierung und autonom arbeitender Maschinen und Anlagen werden kostengünstige und in die Anlagen integrierbare Kraftsensoren benötigt. Vorversuche zeigen, dass Silizium-Dehnmesstreifen mit Glaslot auf Edelstahl gefügt, gute Ergebnisse erwarten lassen [weiterlesen]

Das CiS Forschungsinstitut ist mit 2 Beiträgen auf dem Technologie Symposium des Wachstumskerns VIPO am 09.07.2021 dabei. Das Konsortium möchte eine Technologieplattform für KMUs aufbauen, mit dem durch Simulation Lücken in der virtuellen Produkt- und Prozessoptimierung entlang des gesamten Wertschöpfungszyklus aufgezeigt und geschlossen werden [weiterlesen]

Start für das Vorlaufforschungsprojekt „High-End Beschleunigungssensoren“ (HEB) - Das Vorhaben zielt auf die Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Fertigungsprozesses für hochauflösende kapazitive MEMS Beschleunigungssensoren mit einer Auflösung von 0,001⁰ zur kosteneffizienten Anwendung als Neigungssensor [weiterlesen]

Beim Wettbewerb „Erfurter Stadtradeln“ erradelte das 14-köpfige Team der CiS Radler mehr als 3.200 km. Mit dieser Aktion können 3 neue Bäume gepflanzt werden, ein weiterer Baustein für mehr Klimaschutz und barrierefreies Radfahren. Wir gratulieren dem Team ganz herzlich zum Erfolg [weiterlesen]

Die digital edition des Innovationstags Mittelstand des BMWi 2021 findet am 17. Juni 2021 findet statt. Unter der Rubrik Erfolgsbeispiele präsentiert das CiS Forschungsinstitut das erfolgreiche INNO-KOM Projekt Miniaturisierter Infra-Rot-Emitter-Chip (MIREC) [weiterlesen]

In der virtuellen Session "Safety First! Pt.1 auf der ACHEMA Pulse präsentiert Dr. Klaus Ettrich am 15.06.2021 um 14:20 Uhr das Thema: „Innovative Sensoren zur Überwachung mechanischer Verbindungen“ [weiterlesen]

Zur Messung von Klemmkräften bei sicherheitsrelevanten Schraubverbindungen entwickelte das CiS Forschungsinstitut eine sensitive Unterlegscheibe einschließlich eines Messverfahrens zum Nachweis und Testen [weiterlesen]

Vom 27. Mai bis zum 16. Juni 2021 radeln die Erfurterinnen und Erfurter um die Wette. Wieder dabei ist ein Radelteam des CiS Forschungsinstitutes. Für jede 1.000 gefahrene Fahrrad-Kilometer während des Zeitraums spendet das Umwelt- und Naturschutzamt mit Unterstützung des Vereins Schutzgemeinschaft Deutscher Wald, einen Baum [weiterlesen]

Im Rahmen des Projektes M-Gravi entwickelt das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik neuartige Gravitationssensoren zur hochgenauen Erkundung der geologischen Gegebenheiten der Erdoberfläche. Die Sensoren bestehen aus vier einzelnen Siliziumwafern und nutzen eine Stapeltechnologie auf Wafer-Level [weiterlesen + Video ansehen]

Im Rahmen des “Advanced UV for Life”-Online-Workshops berichtet Prof. Thomas Ortlepp am 20.05.2021 in seinem Vortrag "UV-LED Strahler mit integrierter digitaler Ansteuerung" über aktuelle Projektergebnisse. Zielstellung des Vorhabens ist die Kontrolle der Lichtintensität von UV-LEDs mit niedrigem Stromripple [weiterlesen]

Mid-Week Coffee Break - Beim virtuellen Technologiegespräch des IVAM Fachverbands ist am 19.05.2021 das CiS Forschungsinstitut der Gastgeber. Unser Geschäftsfeldleiter MOEMS Dr. Martin Schädel wird den Teilnehmenden einen Einblick in das Thema „IR-Komponenten für kontaktlose Temperaturmessung und Gasanalyse“ geben [weiterlesen]

ams OSRAM & CiS Forschungsinstitut gehen strategische F&E-Kooperation ein. Beide Partner versprechen sich von der Kooperation Synergieeffekte, um innovative optische Sensorlösungen für die Erfassung von Vitaldaten in naher Zukunft für Patienten und Endanwender in Form von Wearables und Hearables verfügbar zu machen [weiterlesen]

Unser zweites Online-Webinar zum Thema "Siliziumbasierte Piezoresistive Kraftsensoren" am 20.04.2021 war ein voller Erfolg. Die Referenten Dr. Klaus Ettrich, Geschäftsfeldleiter MEMS, Dr. Thomas Frank, Fachbereichsleiter MEMS, sowie André Grün, Entwicklungsingenieur Aufbau- und Verbindungstechnik, präsentierten MEMS-basierte piezoresistive Kraftsensoren zur Überwachung von Vorspannkräften oder zum Monitoring von Kontaktkräften [weiterlesen + Videomitschnitt]

Heute werden im Rahmen der Konferenz „Sensor and Measurement Science International“ die Gewinner des AMA Innovationspreises 2021 ausgezeichnet. Auch Forscherteams des CiS Forschungsinstituts und der Fritsch GmbH haben sich mit einem gemeinsamen Entwicklungsprojekt „Partikelmessung mittels Laserbeugung“ beworben [weiterlesen]

Kommende Woche starten die Messe SENSOR+TEST 2021 sowie der begleitende internationale Fachkongress SMSI 2021. Beide Veranstaltungen finden online statt und das CiS Forschungsinstitut ist mit einer digitalen Präsenz und einem Vortrag vertreten. Sichern Sie sich Ihr kostenfreies Online-Ticket [weiterlesen]

Photoakustische Sensoren messen hochempfindlich Kohlendioxid und Stickoxide. Zunehmend werden andere Gase wie Methan, Ammoniak, Ethylen oder auch Gaslecks bei Pipelines detektiert. Das CiS Forschungsinstitut startet im Projekt PAS die Entwicklung eines integriert herstellbaren photoakustischen Gassensors auf Basis von NDIR-Sensoren. [weiterlesen]

In dieser Woche präsentieren wir auf der HM21 Digital Edition aktuelle Forschungsthemen und Projektergebnisse in der Entwicklung siliziumbasierter MEMS- und MOEMS-Sensorkonzepte [weiterlesen]

Die Geschäftsführung des CiS Forschungsinstituts lud zu einer kreativen Mitmach-Aktion für die Kinder unserer Mitarbeitenden. In unserer Online-Galerie können die zahlreichen kreativen Einreichungen der jungen Künstler und Künstlerinnen bestaunt werden. Frohe Ostertage und bleiben Sie gesund [weiterlesen]

Der 1. Statusworkshop des BMBF-Wachstumskerns HIPS findet am 7. April 2021 als kostenfreie online-Veranstaltung statt. Vom Gastgeber TU Ilmenau organisiert sind von 9:00 bis 16:30 Uhr Gäste und Interessenten herzlich willkommen. Das CiS Forschungsinstitut beteiligt sich in zwei Projekten an der Entwicklung einer innovativen Multisensorplattform für die Erfassung Sensorinformationen in anspruchsvollen Umgebungen [weiterlesen]

Das CiS Forschungsinstitut nutzt seine Kompetenzen in der Aufbau- und Verbindungstechnik für die Weiterentwicklung des Gründungsprojekts der Ilmsens GmbH. Verfahren wie Chip-to-Chip-Kontakte mit extrem kurzen und flachen Loops sowie ein langzeitstabiles, hermetisches Packaging treiben die Miniaturisierung des „System-in-Package“ Sensors voran [weiterlesen]

Als Spezialist für die Entwicklung siliziumbasierter Drucksensoren entwickelt und testet das CiS Forschungsinstitut im Projekt H2MEMS mit den Partnern Palladium-beschichtete MEMS-Strukturen. Die Volumenausdehnung von Palladium bei der Wasserstoffeinlagerung wird dabei als Messprinzip erprobt [weiterlesen]

Die SPIE Photonics West 2021 findet vom 6. bis 11. März als reines Online Event statt. Das CiS Forschungsinstitut referiert im Rahmen der OPTO 2021 in zwei Vorträgen über aktuelle Forschungsergebnisse zum Emissionsverhalten von UV-LEDs sowie zu Abwärtswandlern zur Ansteuerung von UV-LEDs. Die Vorträge stehen während des gesamten Zeitraums registrierten Teilnehmern zur Verfügung [weiterlesen]

Für die Bestimmung der Oberflächenhärte im Nanometerbereich wird im gerade gestarteten Projekt „NanoSense“ ein neuer Messkopf aus der Kombination eines Kraft- und Wegsensors entwickelt. Er soll modular an gängige Universalprüfmaschinen und XY-Achsen Manipulatoren angeschlossen werden [weiterlesen]

Zum Thema „Siliziumbasierte Piezoresistive Kraftsensoren“ veranstaltet das CiS Forschungsinstitut ein kostenfreies Webinar mit Live-Demo am 20.04.2021 von 14:00 bis 15:00 Uhr
[weitere Informationen & Anmeldung]

Der Markt für Thermopile-Sensoren wächst und wird durch die momentane COVID-Pandemie weiter gewinnen. Im aktuellen Projekt NIVo werden zwei etablierte Prinzipien zu einem neuartigen Isothermalsensor durch Vorderseitenkavitäten kombiniert und so die Innovationsfähigkeit auf diesem Gebiet weiterentwickelt [weiterlesen]

Ziel des neu gestarteten ZIM-Kooperationsprojektes AmmoniaSense ist die Erfassung der Ammoniakkonzentration mit einem stationären Inline-Messsystem, um damit Biogasanlagen optimal zu steuern. Das CiS Forschungsinstitut entwickelt das Ammoniak-Sensorsystem, das kombiniert mit einem Schwefelwasserstoffsensor eingesetzt werden soll [weiterlesen]

Einen Übersichtsvortrag zu Verarbeitungsprozesse von Silizium („Silicon Processing Techniques“) hält Prof. Thomas Ortlepp im Rahmen des „Beam Telescopes and Test Beams Workshop“ am 8. Februar um 13:00 Uhr. Im Online-Vortrag wird erläutert, welche Arten von Verarbeitungsprozessen für Silizium existieren und wie sie zur Herstellung von Silizium-Strahlungsdetektoren angewendet werden können [weiterlesen]

Ammoniak-Gassensor für AdBlu® Steuerung – Spektroskopisch arbeitende Sensorkonzepte selektieren sensitiv und verlässlich Ammoniakkonzentration im Abgasstrang eines Dieselmotors. Im Projekt NH3Sens wird ein miniaturisiertes nicht-dispersives ultra-violett (NDUV) Spektrometer für die Abgasanalyse entwickelt [weiterlesen]

Die Nationale Wasserstoffstrategie der Bundesregierung bildet einen Baustein für eine erfolgreiche Klimawende und sichere Energieversorgung. Als Entwicklungspartner anwendungsspezifischer Silizium-Sensoren widmet sich das CiS Forschungsinstitut in Forschungsprojekten dem Thema „Grüner Wasserstoff“. Inhaltliche Zusammenarbeit zu aktuellen Forschungsthemen, so auch zu Wasserstoff bündelt auf regionaler Ebene der FTVT [weiterlesen]

Der direkte Medienkontakt ist für siliziumbasierte Mikrosensoren aufwendig umzusetzen. Um die Miniaturisierung vollständig auszunutzen, wird der Korrosionsschutz auf Chipebene aufgebracht. Damit wird eine Anwendung in anspruchsvolleren Umgebungen auch ohne zusätzliche Schutzkonstruktionen möglich [weiterlesen]

Erhöhung der Quanteneffizienz von Siliziumdioden in Rasterelektronenmikroskopen – Im Forschungsprojekt SiekeV wird an der Verbesserung von Rasterelektronenmikroskopen zur Analyse oberflächennaher Strukturen gearbeitet. Durch die Detektion niederenergetischer Elektronen sind sehr oberflächensensitive REM-Aufnahmen möglich [weiterlesen]

Da in diesem Jahr eine klassische gemeinsame Veranstaltung zum Jahresabschluss mit allen Kolleginnen und Kollegen nicht möglich ist, hat die Geschäftsführung des CiS Forschungsinstituts den Burgermann Foodtruck engagiert. Mit einer ausgeklügelten corona-konformen Bestell-Prozedur konnten alle Mitarbeitenden aus verschiedenen Burger-Menüs wählen und gestern Mittag ihr vorweihnachtliches Dankeschön für das Engagement in diesem nicht einfachen Jahr genießen [weiterlesen]

Eine neue Technologieplattform dient zur gezielten optischen Anpassung eines SNSPD-Silizium-Chipstapels. Dieser ist ein äußerst kompakter Aufbau eines supraleitenden Detektors mit effizienter Signalkopplung in einem Chipverbund sowie integrierten Optiken und Halterung einer Faser [weiterlesen]

Im Rahmen InnoCON Thüringen 2020 am 24.11.2020 erläuert Dr. Olaf Brodersen aktuelle Ergebnisse des Wachstumskerns HIPs und die darin zu entwickelnden SiCer-Technologien für High Performance Sensorsysteme. Die InnoCON startet als online-Veranstaltung um 15:00 Uhr [weiterlesen]

Das CiS Forschungsinstitut arbeitet seit mehr als 10 Jahren an der Entwicklung von photoplethysmographischen Sensoren zur kontinuierlichen Messung von Vitalparametern, wie Herzfrequenz, Herzratenvariabilität und Blutsauerstoffsättigung. Jüngstes Ergebnis ist ein miniaturisierter Sensor, der im Ohr außerdem noch den Blutdruck überwacht [weiterlesen]

Als online-Veranstaltung findet heute die zehnte Beiratssitzung des Konsortiums Advanced UV for Life (AUVL) statt. Das CiS Forschungsinstitut ist Koordinator des Arbeitsfelds „Module & Messtechnik“. In einem Vortrag wird Prof. Thomas Ortlepp von 11:45 Uhr bis 12:20 Uhr über die Wertschöpfung und Lieferketten innerhalb des Arbeitsfelds berichten [weiterlesen]

Harsche Umgebungsbedingen erfordern robuste und stabile Drucksensoren. Mit der Neu- und Weiterentwicklung von Wafer-Level-Packaging-Technologien werden die Performance gesteigert, Einsatzbereiche erweitert und Herstellkosten gesenkt. Das Ergebnis ist als Patent angemeldet [weiterlesen]

Die Teilnehmer des CiS MEMS-Workshops zum Thema Drucksensorik diskutierten online über die Entwicklung von Sensorelementen, deren Montage, Prüfmethoden und Anwendungen. Innovative AVT, insbeondere Waferbondverfahren bildeten diesmal einen Schwerpunkt [weiterlesen]

Staatssekretär für Wissenschaft und Hochschulen Carsten Feller sowie der kommissarischer Referatsleiter „Technologieförderung“ Robert Fetter trafen sich am gestrigen Nachmittag mit der Geschäftsleitung des CiS Forschungsinstituts am Standort im Erfurter Südosten [weiterlesen]

Simultane Messung von Differenzdruck und Prozessdruck - Der vom CiS verfolgte Ansatz nutzt miniaturisierte Drucksensoren, die mittels Flip-Chip-Technologien auf den Trägermaterialien wie Silizium oder Keramik aufgebracht werden können. Mittels angepasster Passivierungsverfahren (ALD, Parylene u.a.) sind die Drucksensoren in ihrer Ausführung medienresistent verfügbar [weiterlesen]

Der Workshop-Herbst am CiS fand gestern eine spannende Fortsetzung mit dem bereits in zweiter Auflage stattfindenden Workshop zu „Komponenten der NDIR-Sensorik“. Als hybride Präsenz- und Online-Veranstaltung konzipiert, diskutierten mehr als 40 Experten aus Forschung und Industrie über spezifische Infrarot-Sensorentwicklung zur Analytik flüssiger und gasförmiger Stoffe [weiterlesen]

Basierend auf innovativen Aufbau- und Verbindungstechnologien zeichnet sich das CiS im Rahmen des Konsortiums „Advanced UV for Life“ für die Entwicklung von Montageprozessen für UV-LEDs verantwortlich. Gebündelt mit Knowhow anderer Partner im Konsortium werden Lösungen für die Desinfektion mit UV-LEDs realisiert [weiterlesen]

Mit dem Workshop on Quantum Technologies begann der spannenden Workshop-Herbst am CiS Forschungsinstitut. Die zweitägige Hybridveranstaltung bot aktuelle Forschungsergebnisse aus den Bereichen Quantensensorik, Quantenkommunikation und Computing sowie Enabling Technologies. Im vierzehntägigen Rhythmus folgen Workshops zu NDIR-Sensorik sowie Drucksensorik [weiterlesen]

Auch in diesem Jahr beteiligte sich ein engagiertes Team des CiS Forschungsinstituts an der Aktion „Stadtradeln“. Ziel des Wettbewerbs ist es, möglichst viele Alltagswege klimafreundlich mit dem Fahrrad zurückzulegen. Vom 10. bis 30. September hat das 13-köpfige Team mehr als 1.500 Kilometer per Fahrrad bewältigt und damit einen Baum erradelt [weiterlesen]

Nach erfolgreichem Pitch im Rahmen des gestrigen Technologie-Wettbewerbs getstarted2gether unterzeichneten heute Hans-Christian Fritsch, Geschäftsführer der Ilmsens GmbH und Thomas Brock, Geschäftsführer des CiS Forschungsinstituts eine Absichtserklärung zur Weiterentwicklung des Gründungsprojekts "Ultrabreitband-Mikrowellen-Sensor-Technologie" [weiterlesen]

Der 5. Industrie-Innovationsdialog beleuchtet aktuelle Forschungskompetenzen von Quantentechnologien für die Thüringer Wirtschaft. Unter anderem wird Mario Bähr vom CiS Forschungsinstitut in seinem Vortrag Diamanten als kosteneffizientes Quantenmaterial vorstellen sowie über Ergebnisse aus dem Forschungsprojekt DiaQuantFab berichten [weiterlesen]

Im Rahmen des 8. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration 2020 ist das CiS Forschungsinstitut mit zwei spannenden Kurzvorträgen vertreten. Die Online-Fachtagung wird von der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik in Zusammenarbeit mit Ruhr-Universität Bochum veranstaltet [weiterlesen]

Thüringer Industrieunternehmen und Forschungseinrichtungen arbeiten im Wachstumskern HIPS gemeinsam daran, basierend auf der bereits patentierten SiCer-Technologie neue Hochleistungssensoren zu entwickeln und perspektivisch gemeinsam zu vermarkten. Die SiCer-Technologie steht für eine einzigartige Verbindung von Siliziumtechnologie (Si) mit keramischer Mehrlagentechnik (Cer) [weiterlesen]

Das CiS Forschungsinstitut verwendet für hybridaufgebaute Kraftsensoren eigene piezoresistive, miniaturisierte Dehnungssensoren aus Silizium (Si-DMS) mit bereits integrierter Vollbrücke. Als Fügetechnik der in 90° zueinander liegenden Si-DMS auf dem Federkörper kommt das Glaslot-Bonden zum Einsatz [weiterlesen]

Unser Online-Seminar zum Thema "Im-Ohr-Sensor für das Vitalmonitoring" am gestrigen Vormittag war ein voller Erfolg. Die Referenten Dr. Martin Schädel, Geschäftsfeldleiter MOEMS und Dr. Martin Jahn, Projektleiter im Fachbereich MOEMS, präsentierten einen optischen Sensor, der - in einer Otoplastik integriert - Blutdruckänderungen jedes einzelnen Herzschlags bewerten kann [weiterlesen + Videomitschnitt]

Für seine Dissertation  „Prozess- und Sensorentwicklung für fertigungsgerechte hochtemperaturtaugliche Drucksensorsysteme auf Siliziumbasis“ wurde unser Mitarbeiter Dr. Robert Täschner mit dem Silicon Science Award ausgezeichnet. Der CiS e.V. vergibt diesen Award für herausragende wissenschaftliche Leistungen auf dem Gebieten der Mikrosystemtechnik [weiterlesen]

Mit einem neuen plasmaunterstütztem Ätz-Prozess werden gleichzeitig eine dünne funktionale Membran und ein Bruchgraben für die folgende Chipvereinzelung erzeugt. Bei MEMS-IR-Emittern erhält man damit gegenüber dem Stand der Technik mehr als Faktor 4 kleinere Flächen und eine um Faktor 2 höhere Dynamik [weiterlesen]

Dauerhaft sichere Flanschverbindungen sind die Grundvoraussetzungen für stabile Produktionsprozesse und Arbeiten auf einem hohen Sicherheitslevel. Aktuell entwickelte siliziumbasierte MEMS-Sensoren werden auf Schraubenköpfen appliziert und messen deren Verformung aufgrund Änderungen der Vorspannkraft [weiterlesen]

Zum Thema „Im-Ohr-Sensor für das Vitalmonitoring“ veranstaltet das CiS Forschungsinstitut ein kostenfreies Webinar mit Live-Demo am 15.07.2020 von 10:30 bis 12:00 Uhr
[weitere Informationen & Anmeldung]

Empfindliche Fluoreszenzsensoren im Würfelzuckerformat - Moderne Fluoreszenzsensoren sollen klein, hochauflösend und hochsensitiv, preiswert und robust sein. Das CiS Forschungsinstitut entwickelt im Forschungsprojekt SmartFLU einen technologischen Baukasten für ein 2-kanaliges Fluorimeter [weiterlesen]

Zur Umsetzung der Nationalen Wasserstoffstrategie ist das CiS Forschungsinstitut Partner in zwei Forschungsprojekten. Das Konsortium HYPOS entwickelt Lösungen für die gesamte Wertschöpfungskette und breite Anwendung von grünem Wasserstoff in vielen Branchen [weiterlesen]

Das CiS Forschungsinstitut tritt dem Innovationsnetzwerk QPhot - Quantum Photonics bei, wodurch der aufkommende Markt der Quantenphotonik erreicht wird und kundenspezifische, vermarktbare Sensorlösungen dieses Segments etabliert werden sollen [weiterlesen]

Durch die Optimierung des Messaufbaus sowie der Auswerteroutine wird ein Absolutvergleich der Abstrahlcharakteristik verschiedener Messungen untereinander möglich. Weniger als 3% Messunsicherheit werden bei einer Winkelauflösung von 1,5  erzielt. Aktuell wird das Normierungsverfahren getestet [weiterlesen]

Passivierschichten aus synthetischem Diamant sind besonders medienresistent. Eine kostengünstige Implementierung von Diamantschichten in relevanten Sensorbereichen wurde mittels Adaption von Technologien der Mikrosystemtechnik zuverlässig erprobt [weiterlesen]

Nach erfolgreichem Pitch bei getstarted2gether wird das Gründungsprojekt „Fehlerfrüherkennung in Hochleistungsbatterien“ der DC Industrie Entwicklung GmbH aktuell produktions- und verfahrensreif weiterentwickelt. Das CiS Forschungsinstitut unterstützt das Start Up im Förderzeitraum mit seiner technischen Infrastruktur sowie seiner Competence in Silicon aus mehr als 25 Jahren [weiterlesen]

Im Herbst 2020 finden drei interessante Workshops zu aktuellen Forschungstrends statt und behandeln Themen wie Drucksensorik, NDIR-Sensorik und erstmals angewandte Quantentechnologien. Die Workshops richten sich an Interessenten aus Wissenschaft, Politik und Wirtschaft und dienen dem Austausch mit Experten aus Industrie und Forschung [weiterlesen]

Die gegenwärtige Lage rund um Corona und die COVID-19 Pandemie erfordert ein sehr dynamisches Handeln sowie überdurchschnittliches Engagement. Im Rahmen von Industrieaufträgen entwickelt und fertigt das CiS Forschungsinstitut gemeinsam mit Partnern Thermopiles. Diese Sensoren erlauben die berührungslose Temperaturmessung und kommen in Kontaktlosthermometern in Gate-Lösungen zum Einsatz [weiterlesen]

Im Rahmen dieses 1. Statusworkshops zum BMBF-Wachstumskernes HIPS am 19. März präsentiert Andrea Cyriax aktuelle Entwicklungen im Bereich MEMS-Sensorik. In einem zweiten Vortrag wird das Verbundprojekt zum Thema Gassensorik, welches vom CiS Forschungsinstitut koordiniert wird, durch Dr. Klaus Ettrich vorgestellt [weiterlesen]

Das eingereichte REM-Bild mit dieser scherzhaften Umschreibung zeigt die Umlagerung von Si-Mikrostrukturen bei 1150°C unter Wasserstoffatmosphäre. Prämiert wurde diese Einreichung aus dem CiS Forschungsinstitut mit einem Sonderpreis des Fotowettbewerbs „NanObjectives 2.0“ [weiterlesen]

Am gestrigen Abend nahm das CiS Forschungsinstitut an einem Parlamentarischen Abend des Verbandes Innovativer Unternehmen e.V. in der deutschen Parlamentarischen Gesellschaft in Berlin teil. In seinem Vortrag präsentierte Dr. Martin Schädel Forschungsergebnisse zu einem optischen In-Ohr-Sensor zur Überwachung wichtiger Vitalparameter [weiterlesen]

In der chemischen Industrie, zum Beispiel bei der Herstellung von Batteriezellen ist eine genaue Temperaturmessung erforderlich. Dem CiS Forschungsinstitut gelang es in Rahmen des Projektes HotSens Temperaturdioden für den Hochtemperaturbereich bis maximal 300°C mit maximal einer Ein-Punkt-Kalibrierung herzustellen [weiterlesen]

Das CiS zeigt auf der vom IVAM Fachverbands für Mikrotechnik gestalteten Sonderausstellungsfläche „Microtechnologies for Optical Devices“ neuste Entwicklungen für die Bereiche Optik und Photonik täglich von 9:30 bis 17:00 Uhr [weiterlesen]

Am Mittwoch, den 19. Februar trägt CiS auf dem 15. „Workshop on Advanced Silicon Radiation Detectors“ zum Thema „Simulation and Technology Study of Shallow Doping Profiles“ vor [weiterlesen]

Mit der wiederholten Teilnahme an der SPIE Photonics West 2020 in San Francisco, die als weltweit größte jährliche Veranstaltung für die Photonik, Laser und biomedizinische Optik gilt, konnte das CiS auch international seine Kompetenzen im Design sowie in der Herstellung und Montage von kundenspezifischen optischen Mikrosensoren demonstrieren [weiterlesen]

Dreizehn ausgewählte Gründer-Teams stellten sich am 30.01.2020 der Jury aus Mitgliedern der wirtschaftsnahen Forschungsinstitute des FTVT [weiterlesen]

Aktuell diskutieren an der Universität Berkeley interdisziplinär Experten über neuartige Verfahren der Bildgebung mittels verkoppelter Lichtquanten. Das CiS entwickelt und fertigt optische Komponenten für diese Art der Quantenbildgebung [weiterlesen]

Forscher von drei Kontinenten feiern heute in Yokohama die erste erfolgreiche Datenübertragung zwischen einem Quantenflussparametron und einem Nano-Kryotron. Das Forschungsergebnis ist ein gemeinsamer Erfolg der CiS Forschungsinstitutes für Mikrosensorik GmbH in Erfurt, der Staatlichen Universität Yokohama in Japan und dem Massachusetts Institute of Technology in Cambridge, USA [weiterlesen]

Die Bewerberfrist für die zweite Auflage des Technologie-Wettbewerbs "GetStarted2gether" startete bereits am 1. Dezember 2019. Potentielle Bewerbungen können noch bis zum 13. Januar 2020 per E-Mail eingereicht werden [weiterlesen]

Gemeinsam mit dem CiS Forschungsinstitut vergibt der CiS e.V. regelmäßig den Silicon Science Award für herausragende wissenschaftliche Leistungen auf dem Gebieten der Mikrosystemtechnik. Insgesamt stellen die Stifter 4.000 Euro Preisgeld zur Verfügung über das sich in diesem Jahr drei Preisträger freuen dürfen [weiterlesen]

Im Rahmen des Transfertages 2019  der TU Ilmenau war das CiS Forschungsinstitut als An-Institut vergangene Woche mit zwei Beiträgen vertreten [weiterlesen]

Als eines der Thüringer wirtschaftsnahen Forschungsinstitute sowie als An-Institut der TU Ilmenau präsentiert sich das CiS Forschungsinstitut heute erstmalig auf der Firmenkontaktmesse academix Thüringen im CongressCenter, Messe Erfurt [weiterlesen]

Im Rahmen der heute startenden Compamed in Düsseldorf zeigt die im Jahr 1993 gegründete Thüringer Forschungseinrichtung aktuelle Forschungsergebnisse. Die Entwicklung von siliziumbasierten Mikrosensorelementen für Applikationen für Industrie, Medizin und Umwelt ist langjährige Kernkompetenz am CiS Forschungsinstitut [weiterlesen]

Die InnoCON bildet eine Plattform, die erfolgreiche Projekte vorstellt und zum Netzwerken einlädt. Das CiS Forschungsinstitut stellte technologische Herausforderungen des Projekts „TeSIS - Texturierter Schwarzkörper-MEMS-IR-Strahler“ vor und war auf dem Gemeinschaftsstand des FTVT dabei [weiterlesen]

Das im Südosten der Stadt Erfurt gelegene CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik beteiligt sich bereits zum siebten Mal an der Erfurter Langen Nacht der Wissenschaften. Am 8. November 2019 stellen Ingenieure und Wissenschaftler ihre Forschungsergebnisse und Anwendungen den interessierten Besuchern vor [weiterlesen]

Am CiS Forschungsinstitut werden siliziumbasierte MEMS-Sensoren zur Überprüfung sicherheitsrelevanter Schraubverbindungen entwickelt. Derartige Spezialschrauben können beispielsweise im Maschinenbau, in der Fördertechnik und in Windkraftanlagen eingesetzt werden [weiterlesen]

Kupfer bietet als Basismetallisierung eine Vielfalt an Metallisierungsmöglichkeiten, die zur Prozessoptimierung des Thermokompressionsverfahrens notwendig sind [weiterlesen]

Die diesjährige Technologiekonferenz »elmug4future« widmet sich den Themenschwerpunkten „Condition, Health and Quality Monitoring - Sensors, Methods and Applications“. Im comcenter Brühl Erfurt ist das CiS Forschungsinstitut mit spannenden Vorträgen zu aktuellen Entwicklungsergebnissen vertreten [weiterlesen]

Wissenschaftler am CiS Forschungsinstitut entwickeln kompakte industrielle Quantensensoren mit einem winzigen Diamant als Herzstück. Diese synthetischen Diamanten mit einem manipulierten Atom im Kristallgitter erlauben die hochpräzise Messung von Magnetfeldern [weiterlesen]

Vom 16. bis 20. September 2019 steht der Physiksommer der Technischen Universität Ilmenau unter dem Motto „Physik der Erde“. Das CiS unterstützt als An-Institut diese MINT-Aktivitäten mit zwei Vorträgen und beteiligt sich zusammen mit dem CiS e.V. mit einem Sponsoring [weiterlesen]

Am 5. November 2019 startet der MOEMS Workshop „Komponenten für die NDIR Gassensorik“. In drei spannenden Sessions werden besondere Anforderungen und innovative Lösungen zu NDIR-Gassensoren, miniaturisierten IR-Lichtquellen und Detektoren betrachtet [Anmeldung und Flyer]

Das CiS ist auf der Sensor China 2019, Shanghai (2.-4. September 2019) als Aussteller auf dem Gemeinschaftsstand der LEG Thüringen vertreten [weiterlesen]

Thüringens Wirtschaftsminister Wolfgang Tiefensee überreichte am 8. August 2019 in Bad Langensalza den Siegern des ersten Technologie-Wettbewerbs „GetStarted2gether“ die Zuwendungsbescheide [weiterlesen]

Das neue Forschungsprojekt „Drucksensor aus <110> Silizium mit erhöhter Linearität“ verspricht eine deutliche Reduktion des Kalibrieraufwandes, potentieller Fehlerquellen und Kosten bei hochgenauen Druckmesszellen [weiterlesen]

Vom 28. bis 30. Oktober 2019 präsentieren Mitarbeiter des CiS Forschungsinstituts in drei der angebotenen Sessions aktuelle Entwicklungsergebnisse zu optischen Mikrosystemen, Aufbau- und Verbindungstechnik sowie Messtechnik [weiterlesen]

Auf der Sensor+Test 2019 zeigt das CiS Forschungsinstitut aktuelle Entwicklungen und Forschungsergebnisse aus den Geschäftsfeldern MEMS, MOEMS und Siliziumdetektoren für Anwendungen in Industrie, Medizin- und Umwelttechnik [weiterlesen]

Der chinesische Verband der Sensorik- und IoT-Industrie (SIA) plant am 21.06.2019 einen Besuch in Deutschland mit einer Delegation der Sensor- und IoT-Industrie, F&E-Institutionen, IoT-Verbänden und lokalen IoT-Industrieparks [weiterlesen]

Neun Gründer-Teams aus Thüringen stellten sich am 28.05.2019 einer Jury aus Mitgliedern der wirtschaftsnahen Forschungsinstitute des FTVT [weiterlesen]

Das BMBF-Verbundvorhaben DiaQuantFab startete zum 15.5.2019. Die Projektpartner entwickeln innerhalb von drei Jahren kommerzialisierbare Mikrosensorsysteme zur hochpräzisen Magnetfeldmessung sowie kalibrationsfreien Strommessung auf Basis von NV-Zentren in Diamant [weiterlesen]

Die Jiangning Development Zone präsentiert 5 Start-ups auf der Viva Technology in Paris vom 16.-18. Mai 2019. Mit dabei ist das Deutsch-Chinesische MEMS Smart Sensor Institute, das auf einer Initiative der chinesischen „Der Sensor Group“ und des CiS beruht. Große Bedeutung haben dabei Themen wie Künstliche Intelligenz und Quantentechnologien [weiterlesen]

Auch 2019 ist das CiS Forschungsinstitut bei der Langen Nacht der Technik an der Technischen Universität Ilmenau mit spannenden Experimenten für Jung & Alt dabei [weiterlesen]

Im Workshop "Maßgeschneiderte MEMS-Sensoren für Anwendungen in der Wissenschaft, Industrie 4.0, Automotive und Mobilität" werden Trends und aktuelle Ergebnisse aus Forschung, Entwicklung und Anwendung für siliziumbasierte MEMS-Sensoren vorgestellt [weiterlesen]

Auf Initiative der Deutsch-Arabischen Freundschaftsgesellschaft besuchte am 1. April 2019 eine Gruppe arabischer Botschafter das CiS Forschungsinstitut [weiterlesen]

Dr. Thomas Frank, Fachbereichsleiter MEMS am CiS Forschungsinstitut erläutert am 4. April um 15:00 miniaturisierte Silizium-Dehnungssensoren, 50-mal empfindlicher als ein herkömmlicher metallischer Foliendehnmessstreifen und so klein wie ein Stecknadelkopf [weiterlesen]

Anfang letzter Woche tagte der Fachausschuss 4.3 Sensor und Sensorsysteme der VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikrosystem- und Feinwerktechnik (GMM) in unserem Haus, um die nächste im Frühjahr 2020 stattfindende Tagung „Energieautarke Sensorsysteme“ (kurz EAS2020) vorzubereiten [weiterlesen]

Anspruchsvolle AVT für Time-of-Flight Kamera-Module, doppelseitige Mikrostreifen-Detektoren und weitere aktuelle Entwicklungsergebnisse zeigt das CiS auf der HMI 2019 im Doppelpack: am Thüringen Gemeinschaftsstand der LEG in Halle 4, Stand F34 und am Stand des Forschungs- und Technologieverbund Thüringen e.V. (FTVT) in Halle 2, Stand A27 [weiterlesen]

Der Thüringer Wirtschaftsminister Wolfgang Tiefensee beruft Prof. Thomas Ortlepp für die Dauer von 4 Jahren als neues Mitglied der Thüringer Landeswissenschaftskonferenz. Als Schnittstelle zwischen Wissenschaft, Politik, Bildung sowie Wirtschaft und Gesellschaft fördert diese Plattform den Austausch und Dialog zu aktuellen und strategischen Fragen der Wirtschafts- und Wissenschaftspolitik Thüringens [weiterlesen]

Aktuell startet der „Wachstumskern VIPO“, ein mit sieben Millionen Euro vom Bund gefördertes Forschungsverbundprojekt. VIPO steht dabei für virtuelle Produkt- und Prozessoptimierung. Ziel ist es, die virtuelle Produktion durch Simulation zu erfassen. Das CiS Forschungsinstitut ist einer der drei beteiligten Wissenschaftspartner [weiterlesen]

Impedanzsensoren werden zur Analyse von z.B. Luftfeuchte, Flüssigkeitsfüllständen oder chem./biolog. Untersuchungen eingesetzt und sind aus Interdigital-Elektroden (IDE) aufgebaut. Erste Ergebnisse zur Langzeitstabilität von IDE-Sensoren mit Diamant-Passivierung in verschiedenen aggressiven Medien präsentiert das CiS am 07.03.19 an der TU Ilmenau [weiterlesen]

Die Messung und Regelung von Temperaturen ist eine der häufigsten Anwendungen für Sensoren und gewinnt durch die Anforderungen von Industrie 4.0-Applikationen z.B. in der Anlagen- und Prozesssteuerung zunehmend an Bedeutung. Kürzlich wurde in einem Entwicklungsprojekt für Hochtemperaturdioden ein wichtiger Meilenstein erfüllt [weiterlesen]

Bereits am Samstag startet mit der SPIE Photonics West in San Francisco die weltweit größte Veranstaltung für photonische Technologien mit drei Konferenzen und zwei Messen [weiterlesen]