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Archiv für die Kategorie: MEMS

Sie sind hier: Startseite1 / MEMS

Projektabschluss miniOffset: Piezoresistive Technologie-Plattform mit minimalem Offset

19. August 2026/in Druck, Kraft, MEMS, Temperatur

Im abgeschlossenen Forschungsprojekt miniOffset wurde mittels einer neuen skalierbaren Technologieplattform die Sensor-Performance, vor allem der Null-Offset und seine Temperaturabhängigkeit bereits auf Wafer-Level bzw. Chip-Level minimiert. Dazu können kostengünstige CMOS/MEMS-kompatible Materialen und Prozesse angewandt werden

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-08-19-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-08-19 07:56:132026-08-19 07:58:45Projektabschluss miniOffset: Piezoresistive Technologie-Plattform mit minimalem Offset

Projektabschluss PJS: Piezo-junction-Effekt basierte on-chip Multi-Sensoren

5. August 2026/in Druck, MEMS, Messtechnik, Prozessentwicklung, Temperatur

Piezo-junction Sensoren messen gleichzeitig Prozessparameter wie Druck, Temperatur und Vibration – ideal für Anwendung in den Bereichen Prozessmesstechnik, Kraftwerke, Öl und Gas, Luft und Raumfahrt. Im abgeschlossenen Forschungsprojekt PJS wurden verschiedene Einflussfaktoren und Abhängigkeiten für einen optimalen pn-Übergang untersucht

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-08-05-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-08-05 07:00:002026-08-04 16:22:21Projektabschluss PJS: Piezo-junction-Effekt basierte on-chip Multi-Sensoren

Interaktive Experimente bei der Ilmenauer Wissenschaftsnacht 2026

23. Juni 2026/in Kraft, MEMS, Veranstaltungen

Zum Entdecken, Mitmachen und Staunen lud das CiS Forschungsinstitut am 20. Juni 2026 mit interaktiven Experimenten und Demonstratoren im Rahmen der Ilmenauer Wissenschaftsnacht ein. Besucherinnen und Besuchern aller Altersgruppen konnten in eine faszinierende Welt Forschung und Technik eintauchen. Wir präsentierten ein buntes Spektrum unserer siliziumbasierten Mikrosensorik zum Kennenlernen und Ausprobieren

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-06-23-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-06-23 11:22:062026-06-23 11:22:06Interaktive Experimente bei der Ilmenauer Wissenschaftsnacht 2026

Projektabschluss ApproxiSens: Entwicklung eines Kraftaufnehmers

17. Juni 2026/in Kraft, MEMS

Im erfolgreich abgeschlossenen ZIM-Kooperationsprojekt ApproxiSens wurde ein neuartiges Messsystem für Härteprüfmaschinen entwickelt, welches die industrielle Härtemessung auf ein neues Qualitätsniveau hebt. Das neu entwickelte Messsystem für industrielle Härtemessungen erhöht die Durchsatzrate in Serienmessungen mittels einer präzisen Steuerung für hohe Geschwindigkeiten zur Annäherung des Indenters an die Prüfoberfläche

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-06-17-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-06-17 07:00:002026-06-16 15:27:50Projektabschluss ApproxiSens: Entwicklung eines Kraftaufnehmers

Siliziumbasierte Mikrosensorik in Nürnberg auf der SENSOR+TEST

3. Juni 2026/in MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Vom 9. bis 11. Juni 2026 ist das CiS Forschungsinstitut erneut beim internationalen Treffpunkt für Sensorik, Mess- und Prüftechnik in Nürnberg als Aussteller dabei. Auf der SENSOR+TEST 2026 können interessierte Besucher in Halle 1 am Stand 501 auch in diesem Jahr unsere Experten treffen und neuste Forschungsergebnisse der siliziumbasierten Mikrosensorik diskutieren.
Auf der 23. ITG/GMA-Fachtagung „Sensoren und Messsysteme 2026“, der wissenschaftlichen Begleitkonferenz im Nürnberg Convention Center West (NCC West), ist das CiS Forschungsinstitut mit vier wissenschaftlichen Beiträgen vertreten

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-06-03-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-06-03 10:17:242026-06-03 11:04:08Siliziumbasierte Mikrosensorik in Nürnberg auf der SENSOR+TEST

Projektabschluss NH3-BZ: Photoakustischer Sensor für die Wasserstofferzeugung

6. Mai 2026/in MEMS, Wasserstoff

Die Messzelle ist für die Bestimmung des Restammoniakgehalts in einem trockenen N2/H2-Gasgemisch, eine Mischung aus Stickstoff (N2) und Wasserstoff (H2), mit 75 Vol% Wasserstoff ausgelegt und soll eine Überwachung in Echtzeit erlauben. Die entwickelte Lösung basiert auf innovativen thermischen Emittern und arbeitet ohne Chopper. Kundenspezifische Sensorelemente können schnell integriert werden

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-05-06-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-05-06 07:37:232026-05-06 07:37:42Projektabschluss NH3-BZ: Photoakustischer Sensor für die Wasserstofferzeugung

Technologien für die Zukunft: CiS Forschungsinstitut auf der Hannover Messe 2026

20. April 2026/in Druck, Medizintechnik, MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Unsere Experten zeigen in den nächsten fünf Tagen neue Projektergebnisse und Anwendungen siliziumbasierter MEMS- und MOEMS-Sensorkonzepte in Halle 13 auf dem Thüringer Gemeinschaftsstand der LEG (Stand E24) in Hannover

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-04-20-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-04-20 12:08:202026-08-24 15:03:46Technologien für die Zukunft: CiS Forschungsinstitut auf der Hannover Messe 2026

Stressunabhängige On-Chip-Temperaturerfassung (SOT)

11. März 2026/in Druck, MEMS, Temperatur

Siliziumdehnmessstreifen (Si-DMS) bieten zahlreiche hervorragende Eigenschaften. Um die Temperaturbeeinflussung zu verringern oder zu kompensieren wurden auf dem gleichen Chip auch Temperaturmesswider-stände, Temperaturdioden sowie bipolare Transistoren integriert. Mit den on-chip pnp-Transistoren konnten temperaturkompensierte Sensoraufbauten realisiert werden

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-03-11-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-03-11 12:12:292026-03-11 12:13:56Stressunabhängige On-Chip-Temperaturerfassung (SOT)

Messepremiere auf Deutschlands Leitmesse für Sicherheit und Verteidigung

19. Februar 2026/in Druck, MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Am 23. Februar 2026 startet in Nürnberg die ENFORCE TAC, Deutschlands Leitmesse für Sicherheit und Verteidigung. Das CiS Forschungsinstitut ist erstmalig mit einer Fläche vertreten und zeigt in Halle 6, Stand 6-215, dem Gemeinschaftsstand der LEG Thüringen, relevante Entwicklungsergebnisse wie ein mobiles Vitalsensorsystem, kundenspezifische Fotodiodenmodule für Laser-Warnsysteme oder auch ein Nachrüstsatz zur nichtinvasiven Druckmessung sowie Sensoren zur Riemenspannungsüberwachung

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-02-19-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-02-19 10:12:272026-02-25 15:10:17Messepremiere auf Deutschlands Leitmesse für Sicherheit und Verteidigung

Vortrag auf dem 21st „Trento“ Workshop on Advanced Silicon Radiation Detectors

12. Februar 2026/in MEMS, Quanten, Veranstaltungen

Vom 17. bis 19. Februar 2026 findet der 21st „Trento“ Workshop on Advanced Silicon Radiation Detectors in Perugia, Italien statt. Das CiS Forschungsinstitut ist dort mit einem Beitrag zur Verbesserung von Low Gain Avalanche Detektoren (LGAD) hinsichtlich der Empfindlichkeit für niederenergetische Elektronen vertreten

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-02-12-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-02-12 07:36:162026-02-12 07:36:17Vortrag auf dem 21st „Trento“ Workshop on Advanced Silicon Radiation Detectors
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  • Projektabschluss miniOffset: Piezoresistive Technologie-Plattform mit minimalem Offset

    19. August 2026
  • Projektabschluss InOxA: Innovative Oxidaufbauten für die Passivierung der Grenzflächen von Silizium

    12. August 2026
  • Projektabschluss PJS: Piezo-junction-Effekt basierte on-chip Multi-Sensoren

    5. August 2026
  • Projektstart CryoMAG-RX: Präziser Temperatursensor für kryogene Temperaturen

    29. Juli 2026
  • Projektstart oLGAD: Low Gain Avalanche Detektor mit ultradünnen Oxiden

    22. Juli 2026

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