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Archiv für die Kategorie: MEMS

Sie sind hier: Startseite1 / MEMS

Projektabschluss NH3-BZ: Photoakustischer Sensor für die Wasserstofferzeugung

6. Mai 2026/in MEMS, Wasserstoff

Die Messzelle ist für die Bestimmung des Restammoniakgehalts in einem trockenen N2/H2-Gasgemisch, eine Mischung aus Stickstoff (N2) und Wasserstoff (H2), mit 75 Vol% Wasserstoff ausgelegt und soll eine Überwachung in Echtzeit erlauben. Die entwickelte Lösung basiert auf innovativen thermischen Emittern und arbeitet ohne Chopper. Kundenspezifische Sensorelemente können schnell integriert werden

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-05-06-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-05-06 07:37:232026-05-06 07:37:42Projektabschluss NH3-BZ: Photoakustischer Sensor für die Wasserstofferzeugung

Technologien für die Zukunft: CiS Forschungsinstitut auf der Hannover Messe 2026

20. April 2026/in Druck, Medizintechnik, MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Unsere Experten zeigen in den nächsten fünf Tagen neue Projektergebnisse und Anwendungen siliziumbasierter MEMS- und MOEMS-Sensorkonzepte in Halle 13 auf dem Thüringer Gemeinschaftsstand der LEG (Stand E24) in Hannover

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-04-20-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-04-20 12:08:202026-04-20 12:13:51Technologien für die Zukunft: CiS Forschungsinstitut auf der Hannover Messe 2026

Stressunabhängige On-Chip-Temperaturerfassung (SOT)

11. März 2026/in Druck, MEMS, Temperatur

Siliziumdehnmessstreifen (Si-DMS) bieten zahlreiche hervorragende Eigenschaften. Um die Temperaturbeeinflussung zu verringern oder zu kompensieren wurden auf dem gleichen Chip auch Temperaturmesswider-stände, Temperaturdioden sowie bipolare Transistoren integriert. Mit den on-chip pnp-Transistoren konnten temperaturkompensierte Sensoraufbauten realisiert werden

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-03-11-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-03-11 12:12:292026-03-11 12:13:56Stressunabhängige On-Chip-Temperaturerfassung (SOT)

Messepremiere auf Deutschlands Leitmesse für Sicherheit und Verteidigung

19. Februar 2026/in Druck, MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Am 23. Februar 2026 startet in Nürnberg die ENFORCE TAC, Deutschlands Leitmesse für Sicherheit und Verteidigung. Das CiS Forschungsinstitut ist erstmalig mit einer Fläche vertreten und zeigt in Halle 6, Stand 6-215, dem Gemeinschaftsstand der LEG Thüringen, relevante Entwicklungsergebnisse wie ein mobiles Vitalsensorsystem, kundenspezifische Fotodiodenmodule für Laser-Warnsysteme oder auch ein Nachrüstsatz zur nichtinvasiven Druckmessung sowie Sensoren zur Riemenspannungsüberwachung

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-02-19-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-02-19 10:12:272026-02-25 15:10:17Messepremiere auf Deutschlands Leitmesse für Sicherheit und Verteidigung

Vortrag auf dem 21st „Trento“ Workshop on Advanced Silicon Radiation Detectors

12. Februar 2026/in MEMS, Quanten, Veranstaltungen

Vom 17. bis 19. Februar 2026 findet der 21st „Trento“ Workshop on Advanced Silicon Radiation Detectors in Perugia, Italien statt. Das CiS Forschungsinstitut ist dort mit einem Beitrag zur Verbesserung von Low Gain Avalanche Detektoren (LGAD) hinsichtlich der Empfindlichkeit für niederenergetische Elektronen vertreten

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-02-12-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-02-12 07:36:162026-02-12 07:36:17Vortrag auf dem 21st „Trento“ Workshop on Advanced Silicon Radiation Detectors

Projektabschluss Nanolever: Sensor zur Bestimmung der Schichtspannung

4. Februar 2026/in Kraft, MEMS

Der neu entwickelte piezoresistive Filmkraftsensor ermöglicht die hochsensitive und robuste Messung von Schichtspannungen im Bereich von etwa 1 N/m bis hinunter in den µN/m-Bereich. Er schließt damit die Lücke zwischen grob auflösenden Standardverfahren und komplexen optischen Laboraufbauten

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-02-04-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-02-04 08:44:142026-02-04 08:44:26Projektabschluss Nanolever: Sensor zur Bestimmung der Schichtspannung

Von der Materialforschung bis zur Softwareentwicklung: Am CiS Experimentiertag praxisnah MINT-Berufe entdecken

30. Januar 2026/in MEMS, MOEMS, Veranstaltungen

Am 29. Januar 2026 besuchten etwa 40 Schülerinnen und Schüler der Kooperativen Gesamtschule „Am Schwemmbach“ in Erfurt das CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik, um die Welt naturwissenschaftlicher und technischer Berufe zu erkunden

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-01-30-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-01-30 12:09:242026-03-11 15:25:02Von der Materialforschung bis zur Softwareentwicklung: Am CiS Experimentiertag praxisnah MINT-Berufe entdecken

NivLer – eine nachrüstbare Lösung für die Prozessdrucküberwachung

28. Januar 2026/in MEMS, Veranstaltungen

Im abgeschlossenen Projekt NivLer entwickelte Das CiS Forschungsinstitut eine nichtinvasive Nachrüstlösung für die Überwachung von Rohrsystemen in der Industrie. Der nachrüstbare Sensor unterstützt eine datenbasierte Wartungsoptimierung durch frühzeitiges Erkennen des Verschleißes und ist auch in Bereichen mit hoher hygienischer Anforderung wie in der Pharma- und Lebensmittelproduktion geeignet

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2026-01-28-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2026-01-28 07:57:282026-01-28 07:58:29NivLer – eine nachrüstbare Lösung für die Prozessdrucküberwachung

VACOM erhält Innovationspreis Thüringen 2025 für miniaturisierten Vakuumsensor CASSINI

19. Dezember 2025/in MEMS, Messtechnik

VACOM gewinnt den Thüringer Innovationspreis 2025 und setzt mit seinem neuen miniaturisierten Vakuumsensor CASSINI neue technologische Maßstäbe. Die wissenschaftlich-technologische Grundlage zum mikroelektromechanischen System (MEMS) wurde in gemeinsamen Forschungsprojekten mit dem CiS Forschungsinstitut gelegt

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2025-12-19-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2025-12-19 09:36:432025-12-19 09:36:44VACOM erhält Innovationspreis Thüringen 2025 für miniaturisierten Vakuumsensor CASSINI

Projektabschluss KTB: Komplexe Tools zur Bauelementesimulation

9. Dezember 2025/in Druck, MEMS

Im Projekt KTB wurden für die Simulation der Kennlinien vom MEMS-Bauelementen verschiedene Programme zu einem komplexen Simulationstool für die Entwicklung hochpräziser und langzeitstabiler Drucksensoren zusammengeführt, sodass ein durchgehender Simulationsablauf möglich ist

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https://www.cismst.de/wp-content/uploads/news-2025-12-09-home.jpg 90 120 CiS https://www.cismst.de/wp-content/uploads/logo-trans.png CiS2025-12-09 07:33:142025-12-09 07:33:46Projektabschluss KTB: Komplexe Tools zur Bauelementesimulation
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  • Wettbewerbsfähiger Deutscher Quantenrechner (CoGeQ): Teilvorhaben mit Aufbau der Demonstratoren erfolgreich abgeschlossen

    20. Mai 2026
  • Projektstart aQuSiS: Akzeptorbasierte Quantensysteme in Silizium

    12. Mai 2026
  • Projektabschluss NH3-BZ: Photoakustischer Sensor für die Wasserstofferzeugung

    6. Mai 2026
  • CiS Forschungsinstitut erneut Aussteller auf der Quantum Photonics

    29. April 2026
  • Technologien für die Zukunft: CiS Forschungsinstitut auf der Hannover Messe 2026

    20. April 2026

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