Projektabschluss InOxA: Innovative Oxidaufbauten für die Passivierung der Grenzflächen von Silizium
Im Forschungsprojekt InOxA wurde der in der Silizium-Photovoltaik entwickelte TOPCon-Kontakt auf Sensordioden übertragen. Hierzu wurde auf das Grundmaterial ein dünnes Barriere-Oxid und hochdotiertes Polysilizium aufgebracht, so dass der Kontakt auch gleichzeitig der Passivierung der aktiven Fläche und des Substratkontakts dient

