| Projekttitel |
Akronym |
Ende |
| Quantencomputer in Festkörpertechnologie |
QSolid |
31.12.2026 |
| Aktive Rastersonden auf Diamantbasis für die Quantenmetrologie und Nanofabrikation |
DiaTip |
31.01.2026 |
| Photoakustischer Sensor für die Wasserstofferzeugung |
NH3-BZ |
31.10.2025 |
| Hybrid integrierte optische Sensoren auf Basis vorstrukturierter Adhäsivschichten |
Hivos |
31.10.2025 |
| PiezoKOMP |
PiezoKOMP |
31.10.2025 |
| Kosteneffiziente Hausung für IR-Strahler |
KHIS |
31.10.2025 |
| Cryo-Resistance |
Cryo-Resistance |
30.09.2025 |
| Si Heat-Flux Sensor |
Si-HFS |
31.07.2025 |
| Sensor zur Bestimmung der Schichtspannung |
Nanolever |
31.07.2025 |
| Low Gain Avalanche Detektoren für 1keV Elektronen |
eLGAD |
30.04.2025 |
| Piezoresistive Technologie-Plattform mit minimalem Null-Offset Im Antrag: Technologie-Plattform minimalem Null-Offset |
miniOffset |
31.03.2025 |
| Komplexe Tools zur Bauelementesimulation |
KTB |
31.03.2025 |
| Strahler mit Farbe |
StraMiFa |
28.02.2025 |
| Neuer Brechzahlsensor |
NBZ |
28.02.2025 |
| Drucksensor für Ultra-Höchstdruck-Anwendungen |
DS-NEMO |
31.01.2025 |
| Inkjet-Printing galvanisch verstärkter Infrarot-Emitter |
IJP-IR |
31.12.2024 |
| Flinkes Infrarot-Emitter-Array |
FIRE |
31.12.2024 |
| Hochdrucksensor mit frontbündigem Medienanschluss |
DS300MPa |
31.12.2024 |
| Optimization of Thermal Behavior |
OTB |
30.09.2024 |
| Simulation und Design von Quantenelektronik und Quantenprozessoren |
SiDQuP |
31.08.2024 |
| Hochintegrierte und skalierbare Interfaceschaltungen für Quantenprozessoren |
HIQuB |
31.08.2024 |
| Sensoren zur Riemenspannungsüberwachung |
ZugKraftSensor |
31.07.2024 |
| Vitalmonitoring - BDMon / In-Ohr-Sensor für das nicht-invasive Schlag-zu-Schlag-Blutdruckmonitoring |
BDMon |
30.06.2024 |
| Resonante Silizium-Differenzdrucksensoren |
ReSi-DDS |
30.04.2024 |
| Mikro-Thermopile-Zeile |
MyTZe |
31.03.2024 |
| Neuer optischer Partikelzähler für große Volumina |
NewPARZ |
29.02.2024 |
| Gasdetektion auf Basis von in Thermopiles integriertem Absorber |
PhIR-10 |
31.01.2024 |
| Entwicklung eines Ammoniak-Sensorsystems zur Verwendung für die Stationäre Inline-Messung des Ammoniakgehaltes und einer Möglichkeit zur Signalverstärkung sowie eines Temperaturmanagementsystems mit zugehörigem Gasseparator für optimale Messbedingungen |
AmmoniaSense |
31.12.2023 |
| Quantum HUB Thüringen |
Quantum HUB Thüringen |
31.12.2023 |
| High End Beschleunigungssensoren |
HEB |
31.08.2023 |
| Neuartiger Isothermalsensor durch Vorderseitenkavitäten |
NIVo |
31.07.2023 |
| Photoakustischer Gassensor mit Referenzgassensor |
PAS |
31.07.2023 |
| Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors mit einer Auflösung von 100pm zur Ermittlung der Härte von Oberflächen im Nanometerbereich |
NanoSense |
31.07.2023 |
| Stressunabhängige on-chip Temperaturerfassung |
SOT |
01.07.2023 |
| Entwicklung sehr flacher 3D-Kraftsensoren inkl. Auswerteelektronik und passender Softwarelösungen für ein neues taktiles Greifsystem mit innovativer kraftrückgekoppelter Steuerung zum Einsatz in Entschärfungsrobotern |
Tactile Gripper |
30.06.2023 |
| Komponenten und Module für die verbesserte optische Diagnostik |
KODIAK |
30.06.2023 |
| Hochempfindliche rauscharme Blauviolett-APD |
BVAPD |
31.05.2023 |
| Effiziente Koppeloptik für Einzelphotonen-Detektoren |
EkoPHo |
30.04.2023 |
| Entwicklung innovativer Fügetechnologien zum Aufbau hochstabiler Druckmessumformer |
EFAH |
31.03.2023 |
| Redundante Temperaturmessung bis 300°C |
Redundanz |
31.03.2023 |
| Verbesserung der Stabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren |
SiDMESES |
28.02.2023 |
| Optimierte reaktive Bondtechnologie auf der Basis neuartiger Zirkonium-Systeme für den Einsatz in der Mikrosystemtechnik |
JoinZiSi |
28.02.2023 |
| Entwicklung semitransparenter optischer Sensoren als Bestandteile von Mikro- und Optoelektronischen Systemen |
Tandemdiode |
31.12.2022 |
| Skalierung von Mikrosensoren in Nanometerbereich |
SkaMiNa |
31.10.2022 |
| Mikrooptischer Nivellierungssenor |
Moni |
31.10.2022 |
| Polykristallines Silizium als funktionale Schicht in der Mikrosystemtechnik |
PoSiMi |
31.10.2022 |
| Montagespannungsresistente Drucksensorchips |
MoDru |
30.09.2022 |
| Freezing out |
Freezing out |
30.09.2022 |
| Galvanisch getrennter Inkrementalsensor |
GalGIS |
30.09.2022 |
| Plattform für eine SiCer kompatible Si-Sensortechnologie |
SiCer-SST |
31.08.2022 |
| Drucksensoren der nächsten Generation mit SiCer-Technologie |
DS-SiCer |
31.08.2022 |
| NDUV Ammoniak Gassensor |
NH3SENS |
30.06.2022 |
| Entwicklung eines miniaturisierten Photodiodensensors zur Ermittlung der Sonnenintensität und des Sonnenwinkels zur Integration in Fensterglasmodulen und Fassaden zwecks Echtzeit-Steuerung von Verdunklungselementen |
Light Control |
30.06.2022 |
| Implantierbare Siliziumdosimeter |
SiDo |
30.06.2022 |
| Photodioden ohne Rückreflexion |
PoRr |
30.06.2022 |
| Entwicklung eines hochpräzisen Unterputzsensors mit verkürzter Detektionszeit |
ALPHIN |
31.05.2022 |
| Standardisierungen in der Herstellung und Verarbeitung von Quantenmaterialien am Beispiel von NV-Farbzentren in Diamant zur Realisierung eines hochpräzisen auf Quanteneffekten beruhenden Amperemeters Diamant für Elektronendetektion |
DiaQuantFab |
14.05.2022 |
| Thermische Entkopplung für Hochtemperatursensorik |
ThEK |
30.04.2022 |
| Hochpräziser piezoresistiver Drehratensensor für die autonome Offline Navigation |
Gyros |
30.04.2022 |
| Entwicklung eines hochgenauen, formschluss-unterstützten Flip-Chip-Thermokompressionsverfahrens |
smartbond |
31.03.2022 |
| High Performance Wafer-Level Packaging für Industriesensorik |
HPPI |
31.03.2022 |
| Si-Detektoren mit flachem Eintrittsfenster |
DefEin |
31.03.2022 |
| Entwicklung von Temperaturkompensierten Silizium-Dehnmesssenoren |
TKompDMS |
31.03.2022 |
| Entwicklung einer Kopplung von optischer und halbleiterphysikalischer Simulationsumgebung am Beispiel eines Sensornetzwerkes für die Strahllageerfassung in Lasermaterialbearbeitungsanlagen |
KOptHL |
28.02.2022 |
| Methoden für optimalen Entwurf von Sensornetzwerken und Integration in Zusammenhangsmodelle |
MESNW |
28.02.2022 |
| Defektengineering zur Erhöhung der Strahlenhärte von Low Gain Avalanche Detektoren |
DELGAD |
28.02.2022 |
| CMOS-kompatible Thermopile-Infrarotsensor-Arrays |
TPA |
28.02.2022 |
| Low Gain Avalanche Detektoren für Stahlung mit geringer Eindringtiefe im Silizium |
UV-LGAD |
28.02.2022 |
| Texturierter Schwarzkörper MEMS IR-Strahler |
TeSIS |
31.01.2022 |
| Elektrolyse-Systemkomponenten für hochdynamischen/intermittierenden Betrieb TP2 Feuchigkeit als Regelgröße |
ElyKon |
31.12.2021 |
| Elektromigrationsverringerung von Infrarotemittern |
EMIR |
31.12.2021 |
| Drucksensor aus <110> Silizium erhöhter Linearität |
DS<110> |
31.12.2021 |
| Verschattungsfreie UV-Beleuchtung mit UVLEDs |
VUVB (ValEndUV) |
31.12.2021 |
| Neuartiger Wasserstoffsensor mit höchster Sensitivität und Selektivität auf der Basis von Mikro-elektro-mechanischen Sensorstrukturen |
H2MEMS |
31.12.2021 |
| Sensorentwicklung für Unterdruck, erhöhte Temperaturen und Medienkontakt |
Pedro |
30.11.2021 |
| Quantenmechanische Berechnung elektronischer Parameter |
QMEMS |
30.09.2021 |
| Langzeitstabile Mikro-Makro-Kopplung zum Aufbau ultraflacher Siliziumdehnungssensoren für makroskopische Prüfkörper |
Mikado |
30.09.2021 |
| Diamant für Elektronendetektion |
DIAED |
30.09.2021 |
| Schneller Infrarotsensor mit integrierter Optik |
Sirio |
31.08.2021 |
| MEMS-Gravimeter |
M-Gravi |
30.06.2021 |
| Integrierte Reflektoren für MEMS IR-Strahler |
IReMIS |
30.06.2021 |
| UV-LEDs mit optimierter Lichtauskopplung durch angepasste Vergusstechnologie |
Olavv |
31.05.2021 |
| Photonische Kristalle für IR-Gasanalyse |
PhiR |
30.04.2021 |
| Siliziumdetektor für Elektronen mit Energie 1keV |
SiekeV |
30.04.2021 |
| Messroutinen und optische Tests für Strahlungssensoren |
MuT |
30.04.2021 |
| Temperaturabhänige Untersuchung von IU-Kennlinien an SOI-Dioden |
Polytemp |
28.02.2021 |
| Analoge, integrierte Temperaturkompensation für Hochtemperatur-Anwendungen |
AnITHA |
28.02.2021 |
| Flip-Chip-Montage zum Aufbau von Drucksensoren |
Flip-Chip-DDS |
31.01.2021 |
| Mit Silizium-Alphapartikelsensoren aufgebauter Radondetektor |
ALPIN |
31.12.2020 |
| Screw Fixing Monitoring |
Screw Fixing Monitoring |
31.12.2020 |
| Bestimmung der Betriebskraft von Verbindungselementen |
BAVI |
31.11.2020 |
| Integrierte Ansteuerschaltung für Hochleistungs-UV-Quelle Quelle mit integrierter Optik |
HL-UV-IV (IC4UV) |
30.11.2020 |
| Temperaturabhängige Untersuchung von IU-Kennlinien an SOI-Dioden |
Platina |
31.10.2020 |
| Langzeitstabile Passivierungen von piezoresitiven Sensoren für anspruchsvolle Sensorumgebungen |
PassDru |
30.06.2020 |
| Dicke Doppel-Metallisierung |
DiDoMet |
30.04.2020 |
| Doppelseitige, großflächig gedünnte Strahlungsdetektoren |
DLAT |
31.03.2020 |
| Temperaturabhängige Ladungsträgereigenschaften |
TeLa |
31.03.2020 |
| 3D-Detektor-Entwicklung |
TRIDENT |
31.03.2020 |
| Multiphysikalischer Sensor für harsche Umweltbedingungen |
Bat |
30.03.2020 |
| Untersuchung von langzeitstabilen Fügeverbindungen zum Aufbau von Drucksensoren zur Prozessüberwachung in Elektrolyseuren und Systemspeichern |
HyProS-D |
30.03.2020 |
| Fiber-Chip-Package |
FCP |
31.01.2020 |
| Multilayer Aufbauten für chemisch resistente, langzeitstabile Sensorik |
MARLen |
31.01.2020 |
| Ausbau des Mikromontagecenters zur Entwicklung von anwendungsspezifischen UV-LED-Modulen |
UV-MMC |
31.12.2019 |
| Smart Sensor Technologies and Training for Radiation Enhanced Applications and Measurements |
STREAM |
31.12.2019 |
| Smartes, hochminiaturisiertes Fluorimeter |
SmartFLU |
31.12.2019 |
| Aktorisches Miniaturspektrometer für die Gassensorik |
AMiGa |
31.12.2019 |
| Gezieltes Wachstum synthetischer Diamant-Schichten für Drucksensoren |
GeWaDiS |
31.10.2019 |
| Hochtemperatursensorik |
HotSens |
31.10.2019 |
| Tastsystem mit stark reduzierter Antastkraft zur Bestimmung der instrumentierten Eindringhärte |
TARZAN |
31.10.2019 |
| Evaluierung druckbarer Materialsysteme für IR-Emitter |
DruMa4IR |
30.09.2019 |
| Elektromigration in Sensor-Kontaktsystemen |
EMIC |
30.09.2019 |
| Miniaturisierter InfraRot-Emitter-Chip |
MIREC |
30.09.2019 |
| Entwicklung eines UV-LED-Absorptionssensors zur Bestimmung von Nukleinsäuregehalt und Reinheit |
ENiN |
31.08.2019 |
| Gesteuerte Defektdynamik in Silizium zur verbesserten UV-Stabilität |
GeDeSi |
31.08.2019 |
| Sensor for Heat Radiation |
SHeRa |
31.08.2019 |
| Entwicklung eines Wafer-Level-Packages für UV-LEDs auf Basis multifunktionalen Silizium- und Keramiksubmounts |
WLP-Mount |
31.07.2019 |
| Innovative Chip-to-Chip Interconnections für high-end Systemanforderungen |
I2CON |
31.07.2019 |
| Drucksensorchip, unempfindlich gegen zeitliche Veränderung mechanischer Eigenschaften der Aufbau- und Montagetechnik |
DumBo |
30.06.2019 |
| Miniaturisierter Drucksensor für einen Druckbereich kleiner 10 mbar |
mini10 |
30.06.2019 |
| Entwicklung eines Bondverfahrens für innovative Reaktivsysteme mit dem Schwerpunkt einer laserbasierten Zündtechnologie, industrieller Zuverlässigkeit und Prozesssicherheit |
RNFSys |
31.05.2019 |
| Hochintegrierte optische Einweg-Messzellen mit spektrophotometrischer Messtechnik für das Online-Messen biologischer Parameter |
BioFlowCell |
31.05.2019 |
| Entwicklung eines produktionsoptimierten integrierten Hochleistungs-UV-Strahlers |
Monta-PHOS |
30.04.2019 |
| Resonanter Drucksensor: Sensor, der eine Struktur besitzt, die ihre Resonanzfrequenz messbar verändert bei Variation des äußeren Druckes |
Resonanter Drucksensor |
30.04.2019 |
| Micro-Structure Transformation of Silicon |
MSTS |
30.04.2019 |
| EUV-Bestrahlungsstärke über diamantbeschichtete Temperatursensoren |
DiaTemp |
28.02.2019 |
| Intelligente Entwicklungsumgebung für flexibles und schnelles Mikrosensorik-Prototyping (II) |
IESP |
31.01.2019 |
| AC-Brücke |
AC-Brücke |
30.11.2018 |
| Glowing Body Silicon Emitter |
GloBSiE |
30.11.2018 |
| Integrierte piezoresistive Siliziumkraftsensoren |
INKA |
30.11.2018 |
| Planarisiertes Wafer Level Packaging für hermetisch dichte Mikrosensoren |
PlanWLP |
30.09.2018 |
| Rückwirkungsfreier Direktaufbau von MEMS-Sensoren |
RUDIS |
31.08.2018 |
| Entwicklung von Multi-Lambda-UV-Strahlern mit angepassten Optikelementen und optimierter Aufbau- und Verbindungstechnik |
Multi-Lambda-UV |
31.07.2018 |
| Technological Sensor Optimisation of Radiation Detectors |
TENSOR |
30.06.2018 |
| Hochauflösendes modulares Spektro-Polarimeter durch Einsatz moderner Halbleiterprozesse |
SpektroPol |
28.02.2018 |
| Smart System Integration/Smart Access to Manufacturing for Systems Integration |
Smarter-SI |
31.01.2018 |
| Intelligente Entwicklungsumgebung für flexibles und schnelles Mikrosensorik-Prototyping |
Intelligente Entwicklungsumgebung |
31.01.2018 |
| Ein-Komponenten Sensor-Aktor-Transducer mit hybrid-integrierter Fehlerkompensation |
BioSAM |
31.12.2017 |
| Aufbau- und Verbindungstechnik von miniaturisierten, siliziumbasierten Dehnungsmesssensoren |
SiStGAP |
31.12.2017 |
| Energieeffizienzmaßnahmen |
Energieeffizienz |
31.12.2017 |
| Entwicklung von preiswerten Silizium-Trägern auf Basis der Siebdrucktechnologie für lokale Dotierungen und Metallisierungen |
SiSi |
30.11.2017 |
| Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Thermopile-Infrarotsensors für Gasdetektion |
TPS |
31.10.2017 |
| FEM4MEMS - multi-physics Finite Elemente Simulator für MEMS-Design |
FEM4MEMS |
30.09.2017 |
| Entwicklung von Defektengineeringprozessen in p-Typ Silizium zur Herstellung von hochohmigen n-in-p Siliziumdetektoren |
DeSiD |
31.08.2017 |
| Großflächig gedünnte Strahlungsdetektoren |
LAT |
31.07.2017 |
| Optisch auslesbarer Druck- und Temperatursensor |
ODTS |
31.07.2017 |
| Produktionsgerechte Einführung eines Bondverfahrens mittels integrierter reaktiver Metallschichten |
iRMS |
31.07.2017 |
| System-in-Package für einen miniaturiesierten Gassensor bis 200 °C / Hermetisches Package von IR-Modulen |
SiPamiG-200 |
31.07.2017 |
| Modellbasierte Prozesssteuerung von Biogasanlagen Teilprojekt 2: Sensorik |
MOST |
30.06.2017 |
| Medienresistenter Differenzdrucksensor |
MeReDiD |
31.05.2017 |
| Modulare Mikrotaster-Systeme |
MMS |
31.05.2017 |
| Dünne Silizium Membrane für hochstabile und hochgenaue Silizium-Drucksensoren |
dSiM |
31.05.2017 |
| Multifotodiode mit mehreren dreidimensional abgegrenzten aktiven Bereichen für hohe Auflösungen und Temperaturen |
MuFoDi |
31.05.2017 |
| UV-Vis-Hybridsensor aus Diamant und Silizium |
UVPD |
31.05.2017 |
| Single Photon Detector |
Single Photon Detector |
31.05.2017 |
| Miniaturisiertes Fluorimeter |
MiniFLU |
30.04.2017 |
| Black Silicon |
Black Silicon |
30.04.2017 |
| Entwicklung eines Sensorsystems zur Steuerung und Erhöhung des Feuchteschutzes von innengedämmten Außenwandkonstruktionen mit einer thermovariablen Innenschicht |
SensorTex |
28.02.2017 |
| Innovationsforum SmartDiamonds - Ein regionales Netzwerk zur Förderung innovativer funktionaler Diamantschichten in der Mikrosensorik |
Smart Diamonds |
28.02.2017 |
| Careers in high-radiation Environment Technologies: Planar pixel sensor development for high-resolution imaging and particle physics |
Talent |
31.12.2016 |
| Richtungssensitiver Quadrantendetektor |
RiSeQ |
31.12.2016 |
| Polarisation-kompensierte 3D-Spektralsensoren |
3D-SpekSens |
31.12.2016 |
| PIEZO - Berechnung und Verifikation von Piezokoeffizienten im Drucksensor-Design-Flow |
PIEZO |
31.12.2016 |
| Trennmembran |
NanoKAP |
31.12.2016 |
| Neue lötbare Metallisierungsverfahren im Submikrometerbereich für Pixeldetektoren |
µPixSol |
31.12.2016 |
| Innovative Startmetallisierungen für belotbare Mikrokontakte |
ISaBel |
31.12.2016 |
| Mikrokanalkühlung |
Mikrokanalkühlung |
31.12.2016 |
| Überlastfeste Differenzdrucksensoren |
ÜLaDru |
31.12.2016 |
| 3D-Mikrokraftsensor für die Qualitätssicherung und taktile Oberflächen |
3D-Kraftsensor |
31.12.2016 |
| Strahlungsfester relativer Feuchtesensor |
SRF |
31.12.2016 |
| Mikro-Laser-Doppler Sensor |
MiLD |
31.12.2016 |
| Beleuchtungseinheit mit integrierter Stabilisierung |
Belis |
31.12.2016 |
| Active Edges für Silizium-Sensoren |
Active Edges |
31.12.2016 |
| Defektengineering im Silizium zur Optimierung von Sensoreigenschaften |
SiPlus |
31.12.2016 |
| Kapillare zum kontinuierlichen Glukosemonitoring |
µKAP |
30.09.2016 |
| Entwicklung einer Kalibrierkammer und/oder Sterilisationskammer für Stoffsensoren |
Kalika |
31.08.2016 |
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