| Projekttitel |
Akronym |
Ende |
| Quantencomputer in Festkörpertechnologie |
QSolid |
31.12.2026 |
| Simulation und Design von Quantenelektronik und Quantenprozessoren |
SiDQuP |
31.08.2024 |
| Hochintegrierte und skalierbare Interfaceschaltungen für Quantenprozessoren |
HIQuB |
31.08.2024 |
| Sensoren zur Riemenspannungsüberwachung |
ZugKraftSensor |
31.07.2024 |
| Vitalmonitoring - BDMon / In-Ohr-Sensor für das nicht-invasive Schlag-zu-Schlag-Blutdruckmonitoring |
BDMon |
30.06.2024 |
| Resonante Silizium-Differenzdrucksensoren |
ReSi-DDS |
30.04.2024 |
| Mikro-Thermopile-Zeile |
MyTZe |
31.03.2024 |
| Neuer optischer Partikelzähler für große Volumina |
NewPARZ |
29.02.2024 |
| Gasdetektion auf Basis von in Thermopiles integriertem Absorber |
PhIR-10 |
31.01.2024 |
| Entwicklung eines Ammoniak-Sensorsystems zur Verwendung für die Stationäre Inline-Messung des Ammoniakgehaltes und einer Möglichkeit zur Signalverstärkung sowie eines Temperaturmanagementsystems mit zugehörigem Gasseparator für optimale Messbedingungen |
AmmoniaSense |
31.12.2023 |
| Quantum HUB Thüringen |
Quantum HUB Thüringen |
31.12.2023 |
| High End Beschleunigungssensoren |
HEB |
31.08.2023 |
| Neuartiger Isothermalsensor durch Vorderseitenkavitäten |
NIVo |
31.07.2023 |
| Photoakustischer Gassensor mit Referenzgassensor |
PAS |
31.07.2023 |
| Entwicklung eines Härtemesskopfes auf Basis eines neuartigen kombinierten Kraft-Wegsensors mit einer Auflösung von 100pm zur Ermittlung der Härte von Oberflächen im Nanometerbereich |
NanoSense |
31.07.2023 |
| Entwicklung sehr flacher 3D-Kraftsensoren inkl. Auswerteelektronik und passender Softwarelösungen für ein neues taktiles Greifsystem mit innovativer kraftrückgekoppelter Steuerung zum Einsatz in Entschärfungsrobotern |
Tactile Gripper |
30.06.2023 |
| Komponenten und Module für die verbesserte optische Diagnostik |
KODIAK |
30.06.2023 |
| Hochempfindliche rauscharme Blauviolett-APD |
BVAPD |
31.05.2023 |
| Effiziente Koppeloptik für Einzelphotonen-Detektoren |
EkoPHo |
30.04.2023 |
| Entwicklung innovativer Fügetechnologien zum Aufbau hochstabiler Druckmessumformer |
EFAH |
31.03.2023 |
| Redundante Temperaturmessung bis 300°C |
Redundanz |
31.03.2023 |
| Verbesserung der Stabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren |
SiDMESES |
28.02.2023 |
| Optimierte reaktive Bondtechnologie auf der Basis neuartiger Zirkonium-Systeme für den Einsatz in der Mikrosystemtechnik |
JoinZiSi |
28.02.2023 |
| Entwicklung semitransparenter optischer Sensoren als Bestandteile von Mikro- und Optoelektronischen Systemen |
Tandemdiode |
31.12.2022 |
| Skalierung von Mikrosensoren in Nanometerbereich |
SkaMiNa |
31.10.2022 |
| Mikrooptischer Nivellierungssenor |
Moni |
31.10.2022 |
| Polykristallines Silizium als funktionale Schicht in der Mikrosystemtechnik |
PoSiMi |
31.10.2022 |
| Montagespannungsresistente Drucksensorchips |
MoDru |
30.09.2022 |
| Freezing out |
Freezing out |
30.09.2022 |
| Galvanisch getrennter Inkrementalsensor |
GalGIS |
30.09.2022 |
| Plattform für eine SiCer kompatible Si-Sensortechnologie |
SiCer-SST |
31.08.2022 |
| Drucksensoren der nächsten Generation mit SiCer-Technologie |
DS-SiCer |
31.08.2022 |
| NDUV Ammoniak Gassensor |
NH3SENS |
30.06.2022 |
| Entwicklung eines miniaturisierten Photodiodensensors zur Ermittlung der Sonnenintensität und des Sonnenwinkels zur Integration in Fensterglasmodulen und Fassaden zwecks Echtzeit-Steuerung von Verdunklungselementen |
Light Control |
30.06.2022 |
| Implantierbare Siliziumdosimeter |
SiDo |
30.06.2022 |
| Photodioden ohne Rückreflexion |
PoRr |
30.06.2022 |
| Entwicklung eines hochpräzisen Unterputzsensors mit verkürzter Detektionszeit |
ALPHIN |
31.05.2022 |
| Standardisierungen in der Herstellung und Verarbeitung von Quantenmaterialien am Beispiel von NV-Farbzentren in Diamant zur Realisierung eines hochpräzisen auf Quanteneffekten beruhenden Amperemeters Diamant für Elektronendetektion |
DiaQuantFab |
14.05.2022 |
| Thermische Entkopplung für Hochtemperatursensorik |
ThEK |
30.04.2022 |
| Hochpräziser piezoresistiver Drehratensensor für die autonome Offline Navigation |
Gyros |
30.04.2022 |
| Entwicklung eines hochgenauen, formschluss-unterstützten Flip-Chip-Thermokompressionsverfahrens |
smartbond |
31.03.2022 |
| High Performance Wafer-Level Packaging für Industriesensorik |
HPPI |
31.03.2022 |
| Si-Detektoren mit flachem Eintrittsfenster |
DefEin |
31.03.2022 |
| Entwicklung von Temperaturkompensierten Silizium-Dehnmesssenoren |
TKompDMS |
31.03.2022 |
| Entwicklung einer Kopplung von optischer und halbleiterphysikalischer Simulationsumgebung am Beispiel eines Sensornetzwerkes für die Strahllageerfassung in Lasermaterialbearbeitungsanlagen |
KOptHL |
28.02.2022 |
| Methoden für optimalen Entwurf von Sensornetzwerken und Integration in Zusammenhangsmodelle |
MESNW |
28.02.2022 |
| Defektengineering zur Erhöhung der Strahlenhärte von Low Gain Avalanche Detektoren |
DELGAD |
28.02.2022 |
| CMOS-kompatible Thermopile-Infrarotsensor-Arrays |
TPA |
28.02.2022 |
| Low Gain Avalanche Detektoren für Stahlung mit geringer Eindringtiefe im Silizium |
UV-LGAD |
28.02.2022 |
| Texturierter Schwarzkörper MEMS IR-Strahler |
TeSIS |
31.01.2022 |
| Elektrolyse-Systemkomponenten für hochdynamischen/intermittierenden Betrieb TP2 Feuchigkeit als Regelgröße |
ElyKon |
31.12.2021 |
| Elektromigrationsverringerung von Infrarotemittern |
EMIR |
31.12.2021 |
| Drucksensor aus <110> Silizium erhöhter Linearität |
DS<110> |
31.12.2021 |
| Verschattungsfreie UV-Beleuchtung mit UVLEDs |
VUVB (ValEndUV) |
31.12.2021 |
| Neuartiger Wasserstoffsensor mit höchster Sensitivität und Selektivität auf der Basis von Mikro-elektro-mechanischen Sensorstrukturen |
H2MEMS |
31.12.2021 |
| Sensorentwicklung für Unterdruck, erhöhte Temperaturen und Medienkontakt |
Pedro |
30.11.2021 |
| Quantenmechanische Berechnung elektronischer Parameter |
QMEMS |
30.09.2021 |
| Langzeitstabile Mikro-Makro-Kopplung zum Aufbau ultraflacher Siliziumdehnungssensoren für makroskopische Prüfkörper |
Mikado |
30.09.2021 |
| Diamant für Elektronendetektion |
DIAED |
30.09.2021 |
| Schneller Infrarotsensor mit integrierter Optik |
Sirio |
31.08.2021 |
| Integrierte Reflektoren für MEMS IR-Strahler |
IReMIS |
30.06.2021 |
| UV-LEDs mit optimierter Lichtauskopplung durch angepasste Vergusstechnologie |
Olavv |
31.05.2021 |
| Photonische Kristalle für IR-Gasanalyse |
PhiR |
30.04.2021 |
| Siliziumdetektor für Elektronen mit Energie 1keV |
SiekeV |
30.04.2021 |
| Messroutinen und optische Tests für Strahlungssensoren |
MuT |
30.04.2021 |
| Temperaturabhänige Untersuchung von IU-Kennlinien an SOI-Dioden |
Polytemp |
28.02.2021 |
| Analoge, integrierte Temperaturkompensation für Hochtemperatur-Anwendungen |
AnITHA |
28.02.2021 |
| Flip-Chip-Montage zum Aufbau von Drucksensoren |
Flip-Chip-DDS |
31.01.2021 |
| Mit Silizium-Alphapartikelsensoren aufgebauter Radondetektor |
ALPIN |
31.12.2020 |
| MEMS-Gravimeter |
M-Gravi |
31.12.2020 |
| Screw Fixing Monitoring |
Screw Fixing Monitoring |
31.12.2020 |
| Bestimmung der Betriebskraft von Verbindungselementen |
BAVI |
31.11.2020 |
| Integrierte Ansteuerschaltung für Hochleistungs-UV-Quelle Quelle mit integrierter Optik |
HL-UV-IV (IC4UV) |
30.11.2020 |
| Temperaturabhängige Untersuchung von IU-Kennlinien an SOI-Dioden |
Platina |
31.10.2020 |
| Langzeitstabile Passivierungen von piezoresitiven Sensoren für anspruchsvolle Sensorumgebungen |
PassDru |
30.06.2020 |
| Dicke Doppel-Metallisierung |
DiDoMet |
30.04.2020 |
| Doppelseitige, großflächig gedünnte Strahlungsdetektoren |
DLAT |
31.03.2020 |
| Temperaturabhängige Ladungsträgereigenschaften |
TeLa |
31.03.2020 |
| 3D-Detektor-Entwicklung |
TRIDENT |
31.03.2020 |
| Multiphysikalischer Sensor für harsche Umweltbedingungen |
Bat |
30.03.2020 |
| Untersuchung von langzeitstabilen Fügeverbindungen zum Aufbau von Drucksensoren zur Prozessüberwachung in Elektrolyseuren und Systemspeichern |
HyProS-D |
30.03.2020 |
| Fiber-Chip-Package |
FCP |
31.01.2020 |
| Multilayer Aufbauten für chemisch resistente, langzeitstabile Sensorik |
MARLen |
31.01.2020 |
| Ausbau des Mikromontagecenters zur Entwicklung von anwendungsspezifischen UV-LED-Modulen |
UV-MMC |
31.12.2019 |
| Smart Sensor Technologies and Training for Radiation Enhanced Applications and Measurements |
STREAM |
31.12.2019 |
| Smartes, hochminiaturisiertes Fluorimeter |
SmartFLU |
31.12.2019 |
| Aktorisches Miniaturspektrometer für die Gassensorik |
AMiGa |
31.12.2019 |
| Gezieltes Wachstum synthetischer Diamant-Schichten für Drucksensoren |
GeWaDiS |
31.10.2019 |
| Hochtemperatursensorik |
HotSens |
31.10.2019 |
| Tastsystem mit stark reduzierter Antastkraft zur Bestimmung der instrumentierten Eindringhärte |
TARZAN |
31.10.2019 |
| Evaluierung druckbarer Materialsysteme für IR-Emitter |
DruMa4IR |
30.09.2019 |
| Elektromigration in Sensor-Kontaktsystemen |
EMIC |
30.09.2019 |
| Miniaturisierter InfraRot-Emitter-Chip |
MIREC |
30.09.2019 |
| Entwicklung eines UV-LED-Absorptionssensors zur Bestimmung von Nukleinsäuregehalt und Reinheit |
ENiN |
31.08.2019 |
| Gesteuerte Defektdynamik in Silizium zur verbesserten UV-Stabilität |
GeDeSi |
31.08.2019 |
| Sensor for Heat Radiation |
SHeRa |
31.08.2019 |
| Entwicklung eines Wafer-Level-Packages für UV-LEDs auf Basis multifunktionalen Silizium- und Keramiksubmounts |
WLP-Mount |
31.07.2019 |
| Innovative Chip-to-Chip Interconnections für high-end Systemanforderungen |
I2CON |
31.07.2019 |
| Drucksensorchip, unempfindlich gegen zeitliche Veränderung mechanischer Eigenschaften der Aufbau- und Montagetechnik |
DumBo |
30.06.2019 |
| Miniaturisierter Drucksensor für einen Druckbereich kleiner 10 mbar |
mini10 |
30.06.2019 |
| Entwicklung eines Bondverfahrens für innovative Reaktivsysteme mit dem Schwerpunkt einer laserbasierten Zündtechnologie, industrieller Zuverlässigkeit und Prozesssicherheit |
RNFSys |
31.05.2019 |
| Hochintegrierte optische Einweg-Messzellen mit spektrophotometrischer Messtechnik für das Online-Messen biologischer Parameter |
BioFlowCell |
31.05.2019 |
| Entwicklung eines produktionsoptimierten integrierten Hochleistungs-UV-Strahlers |
Monta-PHOS |
30.04.2019 |
| Resonanter Drucksensor: Sensor, der eine Struktur besitzt, die ihre Resonanzfrequenz messbar verändert bei Variation des äußeren Druckes |
Resonanter Drucksensor |
30.04.2019 |
| Micro-Structure Transformation of Silicon |
MSTS |
30.04.2019 |
| EUV-Bestrahlungsstärke über diamantbeschichtete Temperatursensoren |
DiaTemp |
28.02.2019 |
| Intelligente Entwicklungsumgebung für flexibles und schnelles Mikrosensorik-Prototyping (II) |
IESP |
31.01.2019 |
| AC-Brücke |
AC-Brücke |
30.11.2018 |
| Glowing Body Silicon Emitter |
GloBSiE |
30.11.2018 |
| Integrierte piezoresistive Siliziumkraftsensoren |
INKA |
30.11.2018 |
| Planarisiertes Wafer Level Packaging für hermetisch dichte Mikrosensoren |
PlanWLP |
30.09.2018 |
| Rückwirkungsfreier Direktaufbau von MEMS-Sensoren |
RUDIS |
31.08.2018 |
| Entwicklung von Multi-Lambda-UV-Strahlern mit angepassten Optikelementen und optimierter Aufbau- und Verbindungstechnik |
Multi-Lambda-UV |
31.07.2018 |
| Technological Sensor Optimisation of Radiation Detectors |
TENSOR |
30.06.2018 |
| Hochauflösendes modulares Spektro-Polarimeter durch Einsatz moderner Halbleiterprozesse |
SpektroPol |
28.02.2018 |
| Smart System Integration/Smart Access to Manufacturing for Systems Integration |
Smarter-SI |
31.01.2018 |
| Intelligente Entwicklungsumgebung für flexibles und schnelles Mikrosensorik-Prototyping |
Intelligente Entwicklungsumgebung |
31.01.2018 |
| Ein-Komponenten Sensor-Aktor-Transducer mit hybrid-integrierter Fehlerkompensation |
BioSAM |
31.12.2017 |
| Aufbau- und Verbindungstechnik von miniaturisierten, siliziumbasierten Dehnungsmesssensoren |
SiStGAP |
31.12.2017 |
| Energieeffizienzmaßnahmen |
Energieeffizienz |
31.12.2017 |
| Entwicklung von preiswerten Silizium-Trägern auf Basis der Siebdrucktechnologie für lokale Dotierungen und Metallisierungen |
SiSi |
30.11.2017 |
| Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Thermopile-Infrarotsensors für Gasdetektion |
TPS |
31.10.2017 |
| FEM4MEMS - multi-physics Finite Elemente Simulator für MEMS-Design |
FEM4MEMS |
30.09.2017 |
| Entwicklung von Defektengineeringprozessen in p-Typ Silizium zur Herstellung von hochohmigen n-in-p Siliziumdetektoren |
DeSiD |
31.08.2017 |
| Großflächig gedünnte Strahlungsdetektoren |
LAT |
31.07.2017 |
| Optisch auslesbarer Druck- und Temperatursensor |
ODTS |
31.07.2017 |
| Produktionsgerechte Einführung eines Bondverfahrens mittels integrierter reaktiver Metallschichten |
iRMS |
31.07.2017 |
| System-in-Package für einen miniaturiesierten Gassensor bis 200 °C / Hermetisches Package von IR-Modulen |
SiPamiG-200 |
31.07.2017 |
| Modellbasierte Prozesssteuerung von Biogasanlagen Teilprojekt 2: Sensorik |
MOST |
30.06.2017 |
| Medienresistenter Differenzdrucksensor |
MeReDiD |
31.05.2017 |
| Modulare Mikrotaster-Systeme |
MMS |
31.05.2017 |
| Dünne Silizium Membrane für hochstabile und hochgenaue Silizium-Drucksensoren |
dSiM |
31.05.2017 |
| Multifotodiode mit mehreren dreidimensional abgegrenzten aktiven Bereichen für hohe Auflösungen und Temperaturen |
MuFoDi |
31.05.2017 |
| UV-Vis-Hybridsensor aus Diamant und Silizium |
UVPD |
31.05.2017 |
| Single Photon Detector |
Single Photon Detector |
31.05.2017 |
| Miniaturisiertes Fluorimeter |
MiniFLU |
30.04.2017 |
| Black Silicon |
Black Silicon |
30.04.2017 |
| Entwicklung eines Sensorsystems zur Steuerung und Erhöhung des Feuchteschutzes von innengedämmten Außenwandkonstruktionen mit einer thermovariablen Innenschicht |
SensorTex |
28.02.2017 |
| Innovationsforum SmartDiamonds - Ein regionales Netzwerk zur Förderung innovativer funktionaler Diamantschichten in der Mikrosensorik |
Smart Diamonds |
28.02.2017 |
| Careers in high-radiation Environment Technologies: Planar pixel sensor development for high-resolution imaging and particle physics |
Talent |
31.12.2016 |
| Richtungssensitiver Quadrantendetektor |
RiSeQ |
31.12.2016 |
| Polarisation-kompensierte 3D-Spektralsensoren |
3D-SpekSens |
31.12.2016 |
| PIEZO - Berechnung und Verifikation von Piezokoeffizienten im Drucksensor-Design-Flow |
PIEZO |
31.12.2016 |
| Trennmembran |
NanoKAP |
31.12.2016 |
| Neue lötbare Metallisierungsverfahren im Submikrometerbereich für Pixeldetektoren |
µPixSol |
31.12.2016 |
| Innovative Startmetallisierungen für belotbare Mikrokontakte |
ISaBel |
31.12.2016 |
| Mikrokanalkühlung |
Mikrokanalkühlung |
31.12.2016 |
| Überlastfeste Differenzdrucksensoren |
ÜLaDru |
31.12.2016 |
| 3D-Mikrokraftsensor für die Qualitätssicherung und taktile Oberflächen |
3D-Kraftsensor |
31.12.2016 |
| Strahlungsfester relativer Feuchtesensor |
SRF |
31.12.2016 |
| Mikro-Laser-Doppler Sensor |
MiLD |
31.12.2016 |
| Beleuchtungseinheit mit integrierter Stabilisierung |
Belis |
31.12.2016 |
| Active Edges für Silizium-Sensoren |
Active Edges |
31.12.2016 |
| Defektengineering im Silizium zur Optimierung von Sensoreigenschaften |
SiPlus |
31.12.2016 |
| Laserdirektbelichter |
Laserdirektbelichter |
31.12.2016 |
| Kapillare zum kontinuierlichen Glukosemonitoring |
µKAP |
30.09.2016 |
| Entwicklung einer Kalibrierkammer und/oder Sterilisationskammer für Stoffsensoren |
Kalika |
31.08.2016 |
| Corioliskraft basierter Mems Massenflusssensor für die Dosierung in der Bio- und Medizintechnik |
Coriolis MFS |
31.07.2015 |
| 3D-Ätzverfahren für MEMS-Sensoren |
3D-ETCH |
30.06.2015 |
| Hochgenaue Temperaturdioden zur besseren Kompensation der Temperaturquerempfindlichkeit |
Tkomp |
30.06.2015 |
| Kompakter Brechungsindex- und Schichtdicken-Sensor |
KomBreSSe |
30.06.2015 |
| Zeitaufgelöste Lumineszenzanalyse von Halbleitern |
TreLAS |
30.06.2015 |
| Mikro-Hochleistungsbeleuchtungssystem für Massenanwendungen |
µHBS |
30.06.2015 |
| Miniaturisierte Dehnungselemente aus Silizium für die Präzisionskraftmessung |
Si-DMS |
30.04.2015 |
| Entwicklung eines Wüstenklimatests inkl. Sandabrasion für kristalline PV-Module |
DUNE |
28.02.2015 |
| Entwicklung eines Ohr-Biofeedback-Systems für das Monitoring und die Behandlung vegetativer Dysfunktionen; Entwicklung eines miniaturisierten und mobilen Im-Ohr Sensorik-Moduls |
BioFeedback |
31.01.2015 |
| Entwicklung einer Hochtemperatur-Kontaktierungstechnologie für siliziumbasierte Elektronikanwendungen |
HoTSiL |
31.12.2014 |
| Entwicklung eines Mikropixelsiliziumphotomultipliers |
MPSPM |
31.12.2014 |
| Entwicklung eines mikrooptischen Sensors zur Pulsformanalyse als Grundlage einer photoplethysmographischen Pulswellenmessung |
PuWeS |
31.12.2014 |
| Forschergruppen Solar; PIDSINX:H |
Forschergruppen Solar |
31.12.2014 |
| Halbleiterkomplexmessplatz |
HKM |
30.11.2014 |
| Mikrosensorik auf Basis von Nano- und Mikrokondensation |
MiNaKo |
31.10.2014 |
| Nanoskalige III-V/Silizium Heterostrukturen für hocheffiziente Solarzellen |
Nano-III-V-pins |
31.09.2014 |
| Wafer Level Packaged Pressure Sensor With Through Silicon Vias |
WPT |
30.09.2014 |
| Bedarfsgerechte Sauerstoffgabe in der klinischen Ventilation (OXYgen on demand during clinical VENtilation) |
OxiVent |
31.08.2014 |
| Entwicklung der Solarzellen der nächsten Generation durch Realisierung des selektiven Emitters mittels neuartiger Siebdrucktechnologien Teilprojekt: Neuartige Siebdrucktechnologien zur Herstellung selektiver Emitter Solarzellen. |
SelemSi |
31.08.2014 |
| Kraft- und Wegnormal für die Nanoscala - Mikrokraftsensor |
Mikrokraftsensor |
31.07.2014 |
| Langzeitstabile Vorderseiten-Metallisierung auf Basis umweltfreundlicher Galvanischer Schichten (LasVeGaS) - Teilvorhaben: Erforschung einer langzeitzuverlässigen und bleifreien Kontaktierungstechnik für galvanisch abgeschiedene Solarzelle |
LasVeGas |
14.07.2014 |
| Impedimetrische 3D Sensoren auf Basis von SOI Wafern |
3DSOI |
30.06.2014 |
| Blasenloser Neigungssensor mit hoher Genauigkeit |
BLNS |
30.06.2014 |
| Ultraschallbasierte, intraorale diagnostische Plattform für den Einsatz im Dentalbereich; Teilprojekt 8: Aufbau- und Verbindungstechnik |
dc.sen |
30.06.2014 |
| Drahtloser Sensor für harsche Umweltbedingungen |
DRAU |
30.06.2014 |
| Hochtemperatur-Druckwandler |
HotDru |
30.06.2014 |
| Multivalentes Sensorarray mit implantierten Interdigitalelektroden |
MUSIGA |
30.06.2014 |
| Laserbasierte Planarisierung von Kontaktflächen an Solarzellen |
LaPlaKon |
30.06.2014 |
| Entwicklung industrietauglicher Vorkonditionierungen für die Passivierung hocheffizienter Si-Solarzellen |
InduPass |
30.06.2014 |
| Laserpuls-Strahlformung zur selektiven Ablation funktionaler Schichten |
LafosA |
30.06.2014 |
| Entwicklung eines miniaturisierten optischen Rauheitssensors zur Klassifizierung bearbeiteter Oberflächen |
Rz-Sens |
31.05.2014 |
| Entwicklung universell-funktioneller Submount - Blocks auf Basis der Lift-off- Technologie mit Erstanwendung für MORES® Sensoren |
LIOF |
30.04.2014 |
| Entwicklung feingranularer, abbildungsartefaktarmer Pixel-Strahlungsdetektoren für medizinische Anwendungen auf Basis eines Mikro-Nano-Strukturierungsmoduls für lithographische Prozesse |
RadioMed |
30.04.2014 |
| Green Energy mit Silizium Thermogeneratoren |
SiTEG |
30.04.2014 |
| Integritäts-kontrolliertes kompensiertes SoG Silizium |
IKOSI |
30.04.2014 |
| Präzise Widerstände im Silizium für Mikrosystemtechnik |
PReSi |
31.03.2014 |
| Entwicklung eines multispektralen sensorischen Mikrosystems zur Bestimmung wellenlängenabhängiger lateraler Intensitätsverteilungen für die reflektive Pulsoximitrie |
MS-LateIn |
28.02.2014 |
| Sensitiver Mikroschalter |
SEMIS |
31.01.2014 |
| Kapazitiver Mikroschalter zum Wecken autonomer Sensorsysteme |
KMS |
31.01.2014 |
| Entwicklung einer Niedertemperatur-Kontaktierungstechnologie für Silizium-Solarzellen |
Lotus |
31.12.2013 |
| Materialien für ultradünne Silizium-Solarzellen |
xµ-Material II |
31.12.2013 |
| Module mit ultradünnen Silizium-Solarzellen |
xµ-Module II |
31.12.2013 |
| Hocheffiziente Solarzellen auf ultradünnen Silizium-Wafern |
xµ-Zellen II |
31.12.2013 |
| Mechanische und optische Charakterisierung von Wafern und Sägematerialen |
ThinWafer |
31.12.2013 |
| Entwicklung eines PV-Moduls mit Konformität zu EU-Normen mit Gültigkeitsbereich Mikroelektronik |
EU-KM |
30.09.2013 |
| European Micro Nano Broker Platform |
EU MN BROKER |
30.06.2013 |
| Betriebsphase Applikationszentrum Mikrooptische Systeme |
AMOS II |
31.12.2012 |
| Zweidimensionales Geschwindigkeitsmesssystem mit variabler Auslesung von Gitterperioden |
2DIMVELO |
31.12.2012 |
| Entwicklung eines universellen Kantendetektors |
EdgeD |
31.12.2012 |
| Power Sensor Line |
PSL |
31.12.2012 |
| Spitzencluster Solarvalley: Verbundvorhaben PV-Laser - Neue Laserprozesse für die Wafer- und Zellbearbeitung (PV-Laser) - Teilvorhaben "Optimierung und Untersuchung laserbasierter Strukturierungsprozesse für Maskenschichten in der Siliziumphotovoltaik der |
PV-Laser |
31.12.2012 |
| Optoelektronischer Nivellierungssensor mit kombinierter visueller und opto-elektronischer Libelle |
Elise 3 |
31.12.2012 |
| Optischer Lagesensor mit hoher Stabiliät gegenüber Temperatur- und Feuchteeinflüssen |
LageIndikator |
30.11.2012 |
| Optimierung des Czochralski-Verfahrens zur Herstellung von monokristallinem Silizium in Hinblick auf geringere Kosten und dünnere Wafer - Teilprojekt: Elektrische und mechanische Charakterisierung von Wafern und Solarzellen |
Cz-Sil |
30.06.2012 |
| Absolutcodiertes Längenmessgerät für Bauwerksüberwachung |
ALBau / ABCSmod |
30.06.2012 |
| Entwicklung eines kombinierten kardio-Temperatursensors für Langzeitüberwachung bei Risikogruppen |
KomKaT-Sens |
30.06.2012 |
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