Micro-Structure Transformation of Silicon
| Akronym: | MSTS | |
| Projektlaufzeit: | 01.06.2017 - 30.04.2019 | |
| Beschreibung: | Für Basistechnologien zur Migration von sub-µm Si-Strukturen (MSTS) wurden zunächst Einzelprozesse und darauf aufbauend Prozessmodule entwickelt. Dünnste Membranen für Drucksensoren, SOI-Bereiche für Hochtemperatur-Drucksensoren und vergrabene Dotierungen können damit erzeugt werden. Diese dienen zur Herstellung verbesserter bzw. neuartiger Mikrosensor- bzw. MEMS Anwendungen. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | VF160033 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
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