Wir sind Ihr Partner für Industrieforschung und Entwicklung von siliziumbasierten Sensoren.
Sie profitieren von unserer langjährigen Erfahrung in der Entwicklung und Fertigung. Wir bieten eine geschlossene in-Haus-Wertschöpfungskette vom Design bis zur Fertigung.
Tätigkeitsschwerpunkte sind MEMS und MOEMS mit höchster Stabilität und Zuverlässigkeit.
Sie erhalten angepasste kundenspezifische Lösungen für Ihre Sensorsysteme, sowie die Fertigung in Kleinserien und die Qualifikation der Zuverlässigkeit und Lebensdauer.
Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH ist zertifiziert nach DIN EN ISO 9001:2015
Aktuelles
Vortrag zum Thema Supraleitung in Ilmenau9. September 2026Zurzeit veranstaltet das Institut für Physik der Technischen Universität Ilmenau seinen 24. Ilmenauer Physiksommer für physikbegeisterte Oberstufenschülerinnen und -schüler. Kai Kühnlenz vom CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik sprach in einem begleitenden Vortrag über das Thema supraleitfähige Elektronik [weiterlesen]
Vier Teams des CiS Forschungsinstituts beim Erfurt-Triathlon 202627. August 2026Mit Teamgeist, guter Laune und sportlichen Ehrgeiz stellten sich gleich vier Staffel-Teams aus dem CiS Forschungsinstitut unter dem Motto „Mikrosensoren, Makro-Performance“ dem Wettkampf. Beim 38. Erfurt Triathlon traf sich bei angenehmem Spätsommerwetter am schönen Strandbad Stotternheim die Triathlon Community zum alljährlichen Kräftemessen [weiterlesen]
Projektabschluss miniOffset: Piezoresistive Technologie-Plattform mit minimalem Offset19. August 2026Im abgeschlossenen Forschungsprojekt miniOffset wurde mittels einer neuen skalierbaren Technologieplattform die Sensor-Performance, vor allem der Null-Offset und seine Temperaturabhängigkeit bereits auf Wafer-Level bzw. Chip-Level minimiert. Dazu können kostengünstige CMOS/MEMS-kompatible Materialen und Prozesse angewandt werden [weiterlesen]
Projektabschluss InOxA: Innovative Oxidaufbauten für die Passivierung der Grenzflächen von Silizium12. August 2026Im Forschungsprojekt InOxA wurde der in der Silizium-Photovoltaik entwickelte TOPCon-Kontakt auf Sensordioden übertragen. Hierzu wurde auf das Grundmaterial ein dünnes Barriere-Oxid und hochdotiertes Polysilizium aufgebracht, so dass der Kontakt auch gleichzeitig der Passivierung der aktiven Fläche und des Substratkontakts dient [weiterlesen]
Projektabschluss PJS: Piezo-junction-Effekt basierte on-chip Multi-Sensoren5. August 2026Piezo-junction Sensoren messen gleichzeitig Prozessparameter wie Druck, Temperatur und Vibration - ideal für Anwendung in den Bereichen Prozessmesstechnik, Kraftwerke, Öl und Gas, Luft und Raumfahrt. Im abgeschlossenen Forschungsprojekt PJS wurden verschiedene Einflussfaktoren und Abhängigkeiten für einen optimalen pn-Übergang untersucht [weiterlesen]
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| 07.09.2026 - 11.09.2026: Ilmenauer Physiksommer "Von der Materie zum Material" Ilmenau, Deutschland [+Cal] |
| 16.09.2026 - 18.09.2026: Sensor China Expo & Conference Shanghai, China [+Cal] |
| 16.09.2026 - 18.09.2026: Electronica India Bengaluru, Indien [+Cal] |
| 21.09.2026 - 24.09.2026: ESREF 2026 - 37th European Symposium on Reliability of Electron Devices, Failure Physics and Analysis Wien, Österreich [+Cal] |
| 23.09.2026 - 25.09.2026: COMSOL Conference 2026 Cambridge, UK [+Cal] |
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