Am Beginn jeder Entwicklung von Mikrosensoren stehen die Modellierung der physikalischen und technologischen Zusammenhänge und die darauf aufbauenden Entwurfsprozesse.
Der Fachbereich Simulation und Design zeichnet im Rahmen von Prototypentwicklungen verantwortlich für die geometrische Ausgestaltung der Sensoren und die technologische Abfolge sowie einzelne Parameter der Fertigungsschritte.
Im Zentrum der Arbeiten stehen Entwurf und Konstruktion neuer oder optimierter kundenspezifischer Mikrosensoren. Dieser Entwurfsprozess ist gekennzeichnet durch die Simulation halbleiterphysikalischer, elektrischer, optischer, mechanischer und thermischer Sensoreigenschaften. Entwurfsziel ist die Erstellung des Sensorlayouts mit festgelegten Designregeln und einem spezifischen Satz an Teststrukturen für Technologiecharakterisierung und Funktionsnachweis. Auf Kundenwunsch können Multidomain Sensor-Modelle mit Verkopplung von halbleiterphysikalischen, elektrischen, optischen, mechanischen und thermischen Effekten entwickelt werden, für die bei Vorliegen qualitativ hochwertiger Sensormesswerte die Extraktion von Modellparametern möglich ist. Die Qualität von Modellen hängt immer entscheidend von der Qualität der Modellparameter ab. Deshalb liegt ein wesentlicher Focus der Arbeiten im Fachbereich Simulation und Design auf der Verbesserung der Kenntnisse über die Eigenschaften der in der Waferfertigung verwendeten Materialien.
Für alle Entwurfsprozesse stehen leistungsfähige Hard- und Softwaretools sowie die Ankopplung an eine Messdatenbank zur Verfügung.
