Entwicklung von preiswerten Silizium-Trägern auf Basis der Siebdrucktechnologie für lokale Dotierungen und Metallisierungen
| Akronym: | SiSi | |
| Projektlaufzeit: | 01.08.2015 - 30.11.2017 | |
| Beschreibung: | Ausgehend von vorhandenem Technologie-Know-how aus dem Photovoltaik-Bereich wurde der Siebdruck von metallhaltigen Pasten und Dotierstoffen auf die Anforderungen der Mikrosystemtechnik und Mikrosensorik adaptiert. Am Beispiel zweier ausgewählter Demonstratoren wurde belegt, dass mittels Siebdruck, Si-Träger mit Schaltungsfunktion erzeugt werden können. Ebenso gestatten siebgedruckte lokale Dotierungen auf Siliziumwafern die Realisierung von Siliziumdehnmessstreifen auf sehr preiswerte Art und Weise. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | MF150021 | |
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