Aufbau Si-Druckwandler mit glaskeramischen Komponenten
| Akronym: | ADAM | |
| Projektlaufzeit: | 01.05.2025 - 31.07.2027 | |
| Beschreibung: | Ziel ist die Verbesserung von Drucksensoren durch glaskeramische Komponenten und angepasste glasbasierte Waferlevel-Fügetechniken durch: - Einsatz eines Fügeadapter am Waferverbund zur Verbesserung von Signalstabilität, Isolationsfestigkeit und Montierbarkeit, - Ersatz von SDB Rückplatten mit zusätzlichen Funktionalitäten (Lötinterface, Umverdrahtung) und - Etablierung einer funktionsführenden Frontplatte mit fluidischen und elektrischen Schnittstellen (vorderseitenmontierbar, medienresistent). |
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| Gefördert durch: | Bundesministerium für Wirtschaft und Energie |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF240127 | |
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