Aktorisches Miniaturspektrometer für die Gassensorik
| Akronym: | AMiGa | |
| Projektlaufzeit: | 01.07.2017 - 31.12.2019 | |
| Beschreibung: | Entwickelt wurde ein kompakter Sensoraufbau zur Erfassung eines kontinuierlichen Infrarotspektrums über weitere Wellenlängenbereiche. Der angestrebte Sensor bietet einen deutlich größeren messbaren Spektralbereich als andere Lösungen wie beispielsweise durchstimmbare Fabry-Perot-Filter. Zudem hebt sich das fertige Sensorsystem durch kompakte Bauform deutlich von etablierten Michelson-FTIR ab. Mit einem solchen Aufbau wird es möglich, verschiedene Gase und Gasgemische mit nur einem Sensor zu analysieren und diesen aufgrund seiner kompakten Bauform und vergleichsweise kostengünstigen Herstellbarkeit in Systeme zu integrieren. Die Kosten sind dabei vergleichbar mit etablierten Fabry-Perot-Filtern trotz des erweiterten Funktionsumfangs. Das Wichtigste auf einen Blick: Kompakte Abmaße (Miniaturisierung) / Hermetisch gehaust / hohes Integrationspotential (in komplexe Systeme) / Großer messbarer Spektralbereich / Analyse verschiedener Gase und Gasgemische möglich / Fertigung/Montage auf Waferebene / Kostensenkung. |
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| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | 49MF170005 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MOEMS | |
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