Rückwirkungsfreier Direktaufbau von MEMS-Sensoren
| Akronym: | RUDIS | |
| Projektlaufzeit: | 01.06.2016 - 31.08.2018 | |
| Beschreibung: | Projektziel war, eine Technologie für einen einfachen, kostenreduzierten Direktaufbau vom MEMS-Sensoren für alternative Einsatzbereiche zu realisieren. Dazu wurden spezielle Drucksensoren auf verschiedene Trägerplatinen aus Glas, Keramik usw. installiert und deren Eigenschaften mit Standardaufbauten verglichen. Durch Kompensation verschiedener Einflussfaktoren mittels Materialauswahl, spezielle Designs und geeigneter AVT-Prozesse wurden hochpräzise Drucksensoren mit hervorragender chemischer und mechanischer Stabilität erzeugt, die durch umfangreiche Messungen bestätigt wurden. |
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| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | MF150176 | |
News-Artikel zum Projekt RUDIS: | ||
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Barometrischer MEMS Drucksensor für Bio- und Medizintechnik 24. April 2017 |
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