Quantenmechanische Berechnung elektronischer Parameter
| Akronym: | QMEMS | |
| Projektlaufzeit: | 01.04.2019 - 30.09.2021 | |
| Beschreibung: | Mittels allein auf Bandstrukturdaten basierenden quantenmechanischen Berechnungen (Kubo-Greenwood-Formalismus) werden für hochpräzise MEMS wichtige Parameter (Piezokoeffizienten und deren Richtungs-, Temperatur- und Dotierungsabhängigkeit sowie thermoelektrische Eigenschaften) bestimmt und mit experimentell ermittelten Daten verglichen. Die so nicht bekannten Simulationstools werden in einem durchgängigen Design-Flow zusammengefasst, so dass sie auch für zukünftige Entwicklungen nutzbar sind. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | Projektträger Jülich | |
| Förderkennzeichen: | 49VF180038 | |
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