Modulare Mikrotaster-Systeme
Akronym: | MMS | |
Projektlaufzeit: | 01.02.2015 - 31.05.2017 | |
Beschreibung: | Die Gesamtzielstellung bestand darin, auf der Basis von piezoresistiven Cantilevern ein modulares Mikrotaster Baukastensystem aufzubauen, mit dem ein breites Spektrum an Messaufgaben im Bereich Gestaltsabweichungen abgedeckt werden kann. Dazu wurden wichtige Systemkomponenten und -Technologien weiter- bzw. neu entwickelt. Als Demonstrator entstand ein neuartiges Mikrotaster-System, bei dem siliziumbasierte piezoresisitive Cantileverchips mit abgesenkten Bondinseln und Spitze auf der Wafervorderseite zum Einsatz kommen, so dass frontbündige Messungen ermöglicht werden. | |
Gefördert durch: | BMWI | ![]() |
Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
Förderkennzeichen: | MF140122 | |
Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt MMS: | ||
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Kundenspezifische piezoresistive Mikrotaster 14. Mai 2015 |
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