Minimierung Hysterese siliziumbasierter Drucksensoren
| Akronym: | NO-HYST | |
| Projektlaufzeit: | 01.04.2025 - 30.09.2027 | |
| Beschreibung: | Die Druck- und Temperaturhysterese beeinflusst die Messgenauigkeit erheblich. Insbesondere tritt eine Druckhysterese bei sehr hohen Druckbereichen, 400 bar bis 2000bar und bei extremer Miniaturisierung auf. In diesem Projekt wird die noch nicht vollständig geklärte Ursache untersucht und durch verschiedene Lösungsansätze, Schritte zur Kompensation durchgeführt. Zusätzlich wird die notwendige hydraulische Prüftechnik für den Hochdruckbereich entwickelt. | |
| Gefördert durch: | BMWK |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF202451 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
« zurück zur Projektübersicht
