Miniaturisierter Drucksensor für einen Druckbereich kleiner 10 mbar
Akronym: | mini10 | |
Projektlaufzeit: | 01.02.2017 - 30.06.2019 | |
Beschreibung: | Die Entwicklung eines extrem kleinen (miniaturisierten) Drucksensors für einen Messbereich kleiner 10 mbar (mini10) erfordert neue technologische Prinzipien in der Membranentwicklung. Ziel war es, eine Technologieplattform für piezoresistive Drucksensoren im Niederdruckbereich zu entwickeln, bei gleichen Anforderungen hinsichtlich Empfindlichkeit, Driftverhalten und Langzeitstabilität sowie Überdruckfestigkeit. Dabei werden diese Sensoren geometrisch deutlich kleiner und somit durch eine größere Stückzahl pro Wafer auch kostengünstiger. Die Untersuchungen konzentrierten sich vorwiegend auf Siliziumoxid und Siliziumnitrid-Membranen. Umfangreiche Voruntersuchungen wurden mittels von Simulationen durchgeführt und zum besseren Verständnis der Membraneigenschaften unterschiedliche Messverfahren angewandt. Neben einem exakten Design lag ein weiterer Schwerpunkt auf der Entwicklung der Zu- und Verbindungsleitungen der Widerstände. Diese bestehen aus strukturiertem und implantiertem Silizium und sind so ausgelegt, dass sie das Messsignal möglichst wenig beeinflussen. Durch die geringen Abmessungen der Sensoren, wurden auch die Bondpads so optimiert, dass sie groß genug sind für die Bondtechnologie und nicht die Funktionalität der Membran einschränken. |
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Gefördert durch: | BMWI | ![]() |
Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
Förderkennzeichen: | MF160063 |
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