Multilayer Aufbauten für chemisch resistente, langzeitstabile Sensorik
Akronym: | MARLen | |
Projektlaufzeit: | 01.08.2017 - 31.01.2020 | |
Beschreibung: | Ziel war die Neu- und Weiterentwicklung von Wafer-Level Packaging Technologien als technologische Plattform zur Realisierung kostengünstiger Sensorik für Harsh-Media Applikationen. Auf dieser Basis wurde ein auf Wafer-Level gekapselter Differenzdrucksensor für den Einsatz in aggressiven, korrosiven und elektrisch leitfähigen gasförmigen oder flüssigen Medien entwickelt. Ein Demonstrator weist die Funktionsfähigkeit nach. Der verfolgte Lösungsansatz für den medienresistenten Differenzdrucksensor wurde unter dem Titel Halbleiterbasierter Differenzdrucksensor und Verfahren zu seiner Herstellung (Aktenzeichen 10 2019 135 606.7) als Patent angemeldet. |
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Gefördert durch: | BMWI | ![]() |
Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
Förderkennzeichen: | 49MF170010 | |
Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt MARLen: | ||
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Patentanmeldung für Multilayer-Aufbauten für chemisch resistente, langzeitstabile Differenzdrucksensoren 13. November 2020 |
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