Großflächig gedünnte Strahlungsdetektoren
| Akronym: | LAT | |
| Projektlaufzeit: | 01.04.2015 - 31.07.2017 | |
| Beschreibung: | Im Rahmen dieses Projektes wurden großflächige Strahlungsdetektoren entwickelt, deren aktiver Bereich auf eine Dicke von mindestens 100µm abgedünnt wurde. Derartige Sensoren mit aktiven Flächen von bis zu 4x4cm² konnten erfolgreich produziert, getestet und ausgewertet werden. Die elektrischen sowie mechanischen Parameter erfüllen alle Spezifikationen und zeigen keine signifikanten Verschlechterungen gegenüber derer von konventionellen, ungedünnten Sensoren. Gegenüber dem Standardprozess mit Handling-Wafern stellt die Methode des nasschemischen Kavitäten-Ätzens eine interessante Alternative dar. Die stetige Optimierung des Verfahrens wird weitere Kostenvorteile erbringen. |
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| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | MF140163 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser ehemaliges Geschäftsfeld Silizium-Detektoren | |
News-Artikel zum Projekt LAT: | ||
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Mit dünnen Pixel-Strahlungsdetektoren nahe am Kollisionspunkt 29. April 2016 |
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