Entwicklung eines CMOS-kompatiblen Thermopile-Infrarotsensors für Gasdetektion
| Akronym: | TPS | |
| Projektlaufzeit: | 01.09.2015 - 31.10.2017 | |
| Beschreibung: | Projektziel war die Entwicklung eines neuen Thermopile-Infrarotsensors (TPS) auf der Basis einer CMOS-kompatiblen Stack-Verbindungstechnologie von Filter, Thermopile-Infrarotsensor und Trägersubstrat. Die Entwicklung umfasste für die Thermopile-Infrarotsensoren eine Polysiliziumschicht auf einer dünnen Siliziummembran, einen CMOS-kompatiblen Absorber und ein hermetisches Package auf Waferlevel für Kappe-, Sensor- und Support-Wafer. Dieses wurde durch Vakuum-Siliziumwaferdirektbonden realisiert. Die neuen Thermopile-Infrarotsensoren sind dadurch robust, kompakt, großserientauglich und kostengünstig. Sie können für die Gasdetektion eingesetzt werden. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | MF150013 | |
News-Artikel zum Projekt TPS: | ||
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Einfluss dünner Polysiliziumschichten auf die Performance von Thermopiles 10. Juli 2023 |
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