Hochtemperaturoptimierte Kontaktmetallisierungen
| Akronym: | LaWaDos | |
| Projektlaufzeit: | 01.03.2024 - 28.02.2026 | |
| Beschreibung: | Die Kontaktierung piezoresistiver Sensoren über Drahtbondkontakte soll Prozesstemperaturen oberhalb 500 Grad Celsius erlauben. Anstelle der etablierten Metallisierung wird ein HAT-stabiles Kontaktsystem entwickelt, das ein hochschmelzendes Metall, vorzugsweise mit Wolfram oder Tantal als Sperrschicht. Bei komplex geformten Sensorelementen stellt die reproduzierbare Herstellung dieser Kontakte eine Herausforderung dar. Diese Prozesse werden deshalb optimiert und nachfolgend für die Fertigung standardisiert. | |
| Gefördert durch: | Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF230021 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt LaWaDos: | ||
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Projektstart LaWaDos: Hochtemperaturoptimierte Kontaktmetallisierungen 30. April 2024 |
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