Hochdrucksensor mit frontbündigem Medienanschluss
| Akronym: | DS300MPa | |
| Projektlaufzeit: | 01.07.2022 - 31.12.2024 | |
| Beschreibung: | Für Hochdruckanwendungen über 70 MPa wird überwiegend wird Dünnschichttechnik auf Stahl verwendet. Sensoren mit frontbündigem Medienanschluss sind mit dieser Technologie nur mit großem Aufwand zu realisieren. Daher wird eine Technologie für einen Sensor mit frontbündigem Medienanschluss strikter Trennung zur elektrischen Seite entwickelt. Querdehnungsunempfindliche Si-DMS werden dafür auf die medienabgewandte Seite mittels Glasfritte gefügt. | |
| Gefördert durch: | Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF220019 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt DS300MPa: | ||
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Von der Forschung in die Praxis – Beiträge des CiS Forschungsinstitutes auf der SMSI 2025 6. Mai 2025 |
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Siliziumbasierte Sensorik Anfang Mai in Nürnberg auf der Sensor+Test 2025 24. April 2025 |
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Entwicklung eines Hochdrucksensor bis 300 MPa mit frontbündigem Medienanschluss 3. August 2022 |
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