Skalierung von Mikrosensoren in Nanometerbereich
| Akronym: | SkaMiNa | |
| Projektlaufzeit: | 01.05.2020 - 31.10.2022 | |
| Beschreibung: | Im Mittelpunkt steht die elektrische Charakterisierung von flachen pn-Übergängen in Silizium für Anwendungen im Bereich der Mikrosystemtechnik auf dünnen Membranen von Drucksensoren oder Strahlungsdetektoren. Dazu wird polykristallines Silizium auf Siliziumwafern abgeschieden mit anschließender Ionenimplantation und Diffusionsschritt. Die Polysilizumschicht wirkt somit als Dotierstoffreservoir während des Diffusionsprozesses zur Erzeugung defektfreier flacher pn-Übergänge. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | VF200008 | |
« zurück zur Projektübersicht
