Elektromigration in Sensor-Kontaktsystemen
| Akronym: | EMIC | |
| Projektlaufzeit: | 01.04.2017 - 30.09.2019 | |
| Beschreibung: | Im CiS Forschungsinstitut werden hochstabile und hochgenaue Drucksensoren entwickelt. Langzeituntersuchungen zeigten bisweilen spontane Driften bei erhöhten Temperaturen T <= 135°C, die mit dem Kontaktsystem in Verbindung stehen. Ausgehend von einen auf Al-Si (<2%) basierenden Kontakt- und Leitbahnsystem wurden die Mechanismen der Elektromigration untersucht. Darauf aufbauend erfolgten Änderungen im Kontakt- und Leitbahndesign, um den Einfluss der Elektromigration zu reduzieren. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | VF160030 | |
News-Artikel zum Projekt EMIC: | ||
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CiS auf der SPIE Photonics West 2020 in San Francisco 12. Februar 2020 |
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