Optisch auslesbarer Druck- und Temperatursensor
Akronym: | ODTS | |
Projektlaufzeit: | 01.02.2015 - 31.07.2017 | |
Beschreibung: | Ziel des Vorhabens war die Entwicklung von Silizium-Strukturen, mit denen eine elektrisch, räumlich und thermisch entkoppelte optisch auslesbare Temperatur- und Druckmessung unter erschwerten Bedingungen der elektromagnetischen Verträglichkeit erfolgen kann. Zu diesem Zweck erfolgt die Kopplung ausschließlich über Glasfaser und das Sensorelement besteht nur aus Glas und Silizium. Es wird außer Licht weder Energie in das Meßmedium eingekoppelt noch kann der Sensor von elektromagnetischen Wellen gestört werden. Die Entwicklungsschwerpunkte lagen in der Integration von optischer Druck- und Temperaturmessung auf der Sensorseite und von statischer und dynamischer Auswertung der Signale in der Auswerteeinheit. Es wurden komplexe 3D-Strukturen durch mehrstufige Strukturierung sowie eine Chipstapel-Technologie und eine Interferometeranordnung nebst Signalauswertung entwickelt und realisiert. |
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Gefördert durch: | BMWI | |
Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
Förderkennzeichen: | MF140096 | |
Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS |
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