Spannungsmanagement in dünnen Membranen
| Akronym: | SMP | |
| Projektlaufzeit: | 01.11.2023 - 30.04.2026 | |
| Beschreibung: | IR-Mikrostrahler und IR-Mikrosensoren werden in der Umwelt- und Haushaltstechnik eingesetzt. Die CMOS-kompatiblen hocheffizienten IR-Strahler und IR-Sensoren werden mittels MEMS-Technologie hergestellt. Es wird ein Technologiepaket entwickelt, um die im MEMS-Prozess auftretenden Eigenspannungen in den Membranen so zu kontrollieren, dass sowohl die Waferverbiegung im gesamten Herstellungsprozess als auch die Chipmembranverwölbung in der Anwendung minimiert bzw. optimiert werden. | |
| Gefördert durch: | BMWK |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF230027 | |
News-Artikel zum Projekt SMP: | ||
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Spannungsmanagement in dünnen Membranen für IR-Strahler und Sensoren 13. Dezember 2023 |
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