Gesteuerte Defektdynamik in Silizium zur verbesserten UV-Stabilität
Akronym: | GeDeSi | |
Projektlaufzeit: | 01.03.2017 - 31.08.2019 | |
Beschreibung: | Es wurden Verfahren und Designrichtlinien für die Entwicklung und Fertigung degradationsstabiler Silizium-basierter UV-Detektoren entwickelt. Diese basieren auf dem entwickelten Degradationsmodell zur Beschreibung der Degradationsdynamik von Silizium-basierten Detektoren für den UV-Bereich. |
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Gefördert durch: | BMWI | |
Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
Förderkennzeichen: | VF160019 |
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