Entwicklung semitransparenter optischer Sensoren als Bestandteile von Mikro- und Optoelektronischen Systemen
| Akronym: | Tandemdiode | |
| Projektlaufzeit: | 01.08.2020 - 31.12.2022 | |
| Beschreibung: | Es sollen transparente Detektoren entwickelt werden, deren aktive Schichten aus dotiertem Silizium oder Polysilizium bestehen. Diese Detektoren finden Anwendung in einem Stehende-Wellen-Interferometer, welches zur hochpräzisen Abstandsmessung eingesetzt wird. In einer Doppelkonfiguration (Tandem) bestehend aus zwei solcher Sensoren ist es möglich Stehende-Wellen-Interferometer mit direkter Auflösung der Bewegungsrichtung zu realisieren. | |
| Gefördert durch: | Bundesministerium für Wirtschaft und Klimaschutz |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49VF200011 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MOEMS | |
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