Vom 10. bis 12. Mai 2022 findet mit der Sensor+Test das weltweit führende Forum für Sensorik, Mess- und Prüftechnik wieder als Präsenzveranstaltung statt. Wir freuen uns darauf, an unserem Messestand 1-501 in Halle 1 des Messezentrums Nürnberg interessierten Besuchern aktuelle Ergebnisse unserer Forschungs- und Entwicklungsarbeiten zu zeigen.
Unsere Highlights:
Piezoresistive Drucksensorchips mit auf dem Sensorchip integrierter Temperaturkompensation für Einsatztemperaturen bis etwa 300°C
Durch Anpassung von Chipdesign und Halbleitertechnologie wurden piezoresistive Drucksensorchips im erweiterten Betriebstemperaturbereich von +40°C bis +300°C entwickelt und gefertigt.
Tastsystem mit reduzierter Antastkraft zur Bestimmung der instrumentierten Eindringhärte
Zur Härtemessung nach dem Verfahren instrumentierter Eindringversuch wird eine wegaufgelöste Kraftmessung benötigt. Dazu sind sowohl ein präziser Kraftsensor und ein präziser Wegsensor, als auch eine präzise Diamantspitze erforderlich. Das Messsystem wird demonstriert.
Sensoren zur Bestimmung der Betriebskraft von Verbindungselementen
Auf Basis einer MEMS-Technologieplattform wurde ein Sensormodul entwickelt, das die Vorspannkraft und die Betriebskraft sowie ihre zeitliche Änderung bestimmt. Der Sensor besteht aus miniaturisierten Dehnmessstreifen.
1×1 mm² große Chips mit strukturiertem 3D-Photodioden-Array, das einfallendes Licht aus verschiedenen Richtungen erfasst
Die neue RISEQ-Sensortechnologie des CiS Forschungsinstitutes ermöglicht die Entwicklung und Fertigung monolithisch integrierter, richtungssensitiver Sensoren. Das Grundkonzept basiert auf der Integration von vier Fotodioden in den Wänden einer Kavität im Silizium.
IR-Komponenten für Gassensorik und Temperaturmessung
Das CiS Forschungsinstitut hat sich hierbei auf die Entwicklung und Fertigung von IR-Strahlern und Thermopilesensoren fokussiert. Beiden Lösungen gemein ist, dass die eigentliche aktive Zone innerhalb einer sehr dünnen Membran aufgespannt wird Die so erzeugten Baugruppen sind mit Kantenlängen im Bereich 1 bis 3 mm sehr klein und weisen schnelle Reaktionszeiten auf.
Elektronendetektor für niedrige Energien von 1keV
Rasterelektronenmikroskope (REM) sind bei der Fehleranalyse in der Fertigung üblich. Wichtiger Bestandteil darin sind Silizium-Elektronendetektoren, um die von der Probe zurückgestreuten Elektronen zu erfassen. Für eine besonders oberflächensensitive Untersuchung werden niederenergetische Elektronenstrahlen verwendet mit hoher Quanteneffizienz.
Tandemdioden für Stehende-Wellen-Interferometer (SWIF)
Die neu entwickelten Tandemdioden vereinfachen deutlich den Aufbau des bekannten Michelson-Interferometers, einem hochpräzisen Messverfahren zur Längen- und Positionsbestimmung bei Präzisionsmaschinen.
Parallel zur Messe Sensor+Test 2022 findet im Nürnberger Congress Center die 21. ITG/GMA- Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2022 statt. Diese wissenschaftliche Veranstaltung legt den Fokus auf die Einbindung von Sensoren in Messsysteme und auf deren Anwendung. Am Dienstag, dem 10.05.2022 findet von 17:45 – 19:00 Uhr eine wissenschaftliche Poster-Session statt. Am Posterstand 19 gibt unser Fachbereichsleiter MEMS, Dr. Thomas Frank einen Einblick in die Forschungsarbeiten zum Thema „Miniaturisierte Ultraschall-Sensoren zur Hochfeuchtebestimmung über 200°C“. Durch einen geeigneten Aufbau mit MEMS-Technologie ist es möglich, die Schallgeschwindigkeit bis 200°C in einem Luft-Wassergemisch zu bestimmen und den Wasseranteil abzuleiten.
Ihr kostenloses Messe-Ticket erhalten Sie über diesem Link:
https://www.sensor-test.de/service/sensorticket.php?Fid=50058
Wir freuen uns auf Sie in Nürnberg!
