Projektabschluss Optimization of Thermal Behavior (OTB)
Im Projekt OTB verfolgten die Wissenschaftler des CiS Forschungsinstituts das Ziel, für hochstabile und hochgenaue piezoresistive Widerstandsbrücken, die aus in einkristallinem Silizium implantierten Widerstandsbahnen mit einem hohen Temperaturkoeffizienten bestehen, die Querempfindlichkeit zu verringern bzw. zu optimieren