Mit dem Vorhaben MinerVa startet das CiS Forschungsinstitut die Entwicklung eines MEMS-Pirani-Sensors für Druckmessung im Fein-Hochvakuumbereich. Die Anwendungsmöglichkeiten sind vielseitig, beispielsweise bei der Herstellung dünner funktionaler Schichten mittels physikalischer Dampfphasenabscheidung (PVD)
Am CiS Forschungsinstitut wurden in Kooperation mit Partnern aus der Industrie und Wissenschaft Drucksensoren auf der Basis von NV-Zentren in Diamant mit industriellen Fertigungsmethoden hergestellt. Die Ergebnisse aus dem Forschungsprojekt Qind werden im Rahmen des 28. Hasselt Diamond Workshop SBDD präsentiert
Um die Performance von piezoresistiven Drucksensoren zu verbessern, wurden im abgeschlossenen Forschungsprojekt EFAH verschiedene Fügetechnologien entwickelt, die besonders die kritischen Verbindungen zwischen Wandlerkern und elektrisch-mechanischem Prozessanschluss betrachten. Hierbei zeigten Glaslote deutliche Vorteile
Im Rahmen der GREAT H2 Abschlusskonferenz präsentiert das CiS Forschungsinstitut Sensorentwicklungen zur industriellen Anwendung von grünem Wasserstoff. Dr. Klaus Ettrich, Geschäftsfeldleiter MEMS am CiS Forschungsinstitut, erläutert in seinem Pitch sensorische Lösungen für eine sichere Nutzung entlang der gesamten Wertschöpfungskette von „Grünem Wasserstoff“. In der Fachausstellung werden Demonstratoren aus entsprechenden Forschungsprojekten gezeigt
Vom 13. bis 16. November 2023 öffnet mit der COMPAMED die weltweit führende Leitmesse für den medizintechnischen Zulieferbereich in Düsseldorf ihre Tore und wir präsentieren in Halle 8A an unserem Messestand H23-4 innerhalb des Gemeinschaftsstand des IVAM Fachverbandes Anwendungen siliziumbasierter Sensorik in der Medizintechnik.
Im Rahmen des COMPAMED HIGH-TECH Forum by IVAM wird Dr. Martin Schädel, Geschäftsfeldleiter MOEMS am 13. November ausgewählte Forschungs- und Entwicklungsergebnisse zur Thematik „Siliziumbasierte Mikrosensoren für medizinische und biowissenschaftliche Anwendungen“ vorstellen
Am 9. November 2023 findet am CiS Forschungsinstitut der CiS LABday mit dem Schwerpunkt „Piezoresistive Silizium-Drucksensoren“ statt. Die wissenschaftliche Leitung wird von Prof. Thomas Ortlepp und Dr. Klaus Ettrich übernommen. Mit praktischen Inhalten in Form von Demonstratoren, Live-Vorführungen sowie anschaulichen Präsentationen, vermittelt der CiS LABday Wissenswertes zu piezoresistiven Silizium-Drucksensoren.
Im Forschungsvorhaben SiDMeses konnte die Langzeitstabilität hybrid aufgebauter Silizium-Dehnungssensoren durch einen gezielten und beschleunigten Abbau der mechanischen Montagespannung signifikant verbessert und ein präziser extrem paralleler und symmetrischer Aufbau erzeugt werden
Das neue Forschungsvorhaben NivLer am CiS Forschungsinstitut adressiert die Entwicklung eines Nachrüstsatzes zur nichtinvasiven Druckmessung in Prozessrohren, um zerstörungsfrei verschiedene Zustandsgrößen erfassen und digitalisieren zu können
Neuartige Materialkombinationen und Sensorgeometrien für Widerstandsthermometer in der Wasserstoffwirtschaft – Im neuen Projekt Cryo-Resistance wird sowohl die Weiterentwicklung von industriell gefertigten Widerstandsthermometern in Zusammenarbeit mit der UST Umweltsensortechnik GmbH als auch mehrere Layout-Varianten, basierend auf Halbleitertechnologien des CiS Forschungsinstitutes verfolgt
„Mikrotechnologien für eine smarte Welt“ unter diesem Slogan steht in diesem Jahr der IVAM Hightech Summit in Bochum am 3. und 4. Mai 2023. Prof. Thomas Ortlepp wird die Session “Smart Mobility“ moderieren und mit dem Vortrag “MEMS Development for Smart Mobility – Driver Condition Monitoring for Safety” die Diskussion eröffnen
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