Polysilizium basierte Resonante Mikrosensoren
| Akronym: | PaRiS | |
| Projektlaufzeit: | 01.07.2025 - 31.12.2027 | |
| Beschreibung: | Ziel ist die Entwicklung polykristalliner Silizium-Resonatorstrukturen für Drucksensoren mit hermetischer Hochvakuum-Verkapselung, elektrischer Kontaktierung und Isolierung. Die Resonanzfrequenz basiert auf der durch Druck erzeugten mechanischen Vorspannung. Die Zugvorverspannung gewährleistet stabile Schwingungsmoden. Ziel sind hohe Frequenzstabilität, geringe Sensitivität gegenüber statischen Druck und Übertragbarkeit auf andere MEMS wie Beschleunigungssensoren mit Benchmark-Performance und hoher Stabilität. | |
| Gefördert durch: | Bundesministerium für Wirtschaft und Energie |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF240150 | |
News-Artikel zum Projekt PaRiS: | ||
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Projektstart PaRiS – Polysilizium basierte Resonante Mikrosensoren 7. Oktober 2025 |
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