MEMS Pirani Sensor für das Fein- und Hochvakuum
| Akronym: | MinerVa | |
| Projektlaufzeit: | 01.03.2024 - 31.08.2026 | |
| Beschreibung: | Ziel des Projekts ist die Entwicklung eines Sensormesssystems zur Überwachung des Drucks vakuumführender Prozesse. Kernelemente sind die Entwicklung eines medienresistenten, hochtemperaturfähigen, miniaturisierten und kosteneffizienten MEMS-Pirani-Sensors mit einer Betriebstemperatur von maximal 300°C und einem Messbereich von 1E-05 mbar bis 1 mbar (Fein- und Hochvakuum). Das Sensormesssystem soll dabei als Sandwich aufgebaut und auf ein beheizbares Keramik-Substrat aufgebracht werden. | |
| Gefördert durch: | BMWK |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF230007 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt MinerVa: | ||
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MEMS-Pirani-Sensor für das Fein- und Hochvakuum 4. April 2024 |
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