Gasdetektion auf Basis von in Thermopiles integriertem Absorber
| Akronym: | PhIR-10 | |
| Projektlaufzeit: | 01.08.2021 - 31.01.2024 | |
| Beschreibung: | Ziel des Projektes besteht in der Entwicklung von Thermopiles mit Absorbern auf der Basis von Schichtsystemen und photonischen Kristallen. Dabei sollen die Schichtsysteme und photonischen Strukturen so gefertigt werden, das mit einem Prozess gleichzeitig Thermopiles entstehen, die für verschiedene Wellenlängen im Spektralbereich zwischen 2 und 20 µm besonders empfindlich sind. Die selektiven Absorber sollen eine selektive Absorption gegenüber den Wellenlängen von Stickoxid, Ethanol, Wasser, Azeton und Kohlendioxid aufweisen. Diese Absorber sollen vorzugsweise aus photonischen Kristallen ausgeführt werden. Die dabei erzeugten photonischen Kristalle werden durch eine Strukturierung möglichst weniger Ebenen erreicht. Dafür bieten sich Lochstrukturen in einer zusätzlichen Siliziumschicht oder in den Thermocouples an. |
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| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF210027 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MOEMS | |
News-Artikel zum Projekt PhIR-10: | ||
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Projektabschluss PhIR-10 – Gasdetektion auf Basis von in Thermopiles integriertem Absorber 9. Juli 2024 |
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CiS Forschungsinstitut auf der microTEC Südwest Clusterkonferenz 2022 16. Mai 2022 |
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F&E Projekt PhIR-10 – Gasdetektion auf Basis von in Thermopiles integriertem Absorber 6. August 2021 |
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