Multifotodiode mit mehreren dreidimensional abgegrenzten aktiven Bereichen für hohe Auflösungen und Temperaturen
Akronym: | MuFoDi | |
Projektlaufzeit: | 01.03.2015 - 31.05.2017 | |
Beschreibung: | Das Vorhaben zielte auf die Entwicklung eines Fotodiodenarrays mit verbesserten Eigenschaften hinsichtlich Auflösung und Temperaturverhalten für Anwendungen in hochauflösenden Positioniersystemen und in hohen Umgebungstemperaturen. Durch die Verwendung der Inductive-Coupled-Plasma-Ätzung (ICP) wurde das Übersprechen und der Abstand zwischen benachbarten Fotodioden reduziert. Eine weitere Trennung der Fotodioden untereinander und zum Substrat erfolgte durch die Verwendung Von SOI-Material. Für die genannten Einsatzschwerpunkte wurden zwei Prototypen gefertigt. | |
Gefördert durch: | BMWI | ![]() |
Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
Förderkennzeichen: | MF140127 | |
Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser ehemaliges Geschäftsfeld Silizium-Detektoren | |
News-Artikel zum Projekt MuFoDi: | ||
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Partikelmessung mittels Laserbeugung 3. Mai 2021 |
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