Dicke Doppel-Metallisierung
Akronym: | DiDoMet | |
Projektlaufzeit: | 01.11.2017 - 30.04.2020 | |
Beschreibung: | Ziel des Projektes war die Realisierung einer Zwei-Ebenen-Metallisierung mit Schichtdicken von bis zu 2 µm, durch eine Technologieentwicklung zur Herstellung von flachen Kanten. In einem ersten Schritt wurden mehrere Wafer erfolgreich mit einer nasschemischen Strukturierung prozessiert. Durch die Strukturierung flacher Kanten konnten Metallbahnen größerer Dicke und damit höherer Leitfähigkeit übereinander geführt werden. Dies ermöglicht Strahlungsdetektoren mit verkippten Leitbahnen. |
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Gefördert durch: | BMWI | |
Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
Förderkennzeichen: | 49MF170046 | |
Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser ehemaliges Geschäftsfeld Silizium-Detektoren |
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