Resonanter Drucksensor: Sensor, der eine Struktur besitzt, die ihre Resonanzfrequenz messbar verändert bei Variation des äußeren Druckes
Akronym: | Resonanter Drucksensor | |
Projektlaufzeit: | 01.11.2016 - 30.04.2019 | |
Beschreibung: | Auf der Basis von MEMS-Technologien wurden siliziumbasierte Drucksensoren für den Bereich von wenigen mbar bis zu einem bar entwickelt, die mit dem Prinzip der Resonanzfrequenz arbeiten. Sie weisen eine hohe Genauigkeit auf und sind zugleich durch eine gut durchstrukturierte Prozessführung preislich attraktiv. Charakterisierungsmessungen insbesondere zur Resonanzfrequenz der angeregten mechanischen Strukturen zeigten, dass das Gesamtkonzept mit thermischer Anregung und Signalauslesung über eine piezoresistive Brücke eine hohe Stabilität aufweist. | |
Gefördert durch: | BMWI | |
Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
Förderkennzeichen: | MF150201 |
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