Elektromigrationsverringerung von Infrarotemittern
Akronym: | EMIR | |
Projektlaufzeit: | 01.07.2019 - 31.12.2021 | |
Beschreibung: | Das Ziel des Projektes besteht darin, die am CiS Forschungsinstitut etablierte Technologieplattform für Infrarotemitter hinsichtlich von Lebensdauer und Elektromigrationseffekten zu untersuchen. Basierend auf den gewonnenen Erkenntnissen zu den Elektromigrationseffekten bei verschiedenen Betriebssituationen wird eine optimierte, elektronmigrationsunabhängige Technologieplattform für Infrarotemitter erarbeitet und an Hand von Demonstratoren getestet. Nach der Evaluierung des Ist-Zustandes sollen Design- und Prozess- Parameter für die optimierte Technologieplattform bestimmt werden, die es ermöglichen, die Lebensdauer der Infrarotemitter zu verbessern und die Elektromigration in den Infrarotemittern zu verringern ohne eine signifikante Verschlechterung der optischen Parameter hervorzurufen. Darauf aufbauend werden im Projekt Demonstratoren von Infrarotemittern mit den optimierten Design- und Prozessparametern gefertigt und analysiert. Durch Verwendung eines geeigneten Metallisierungssystems und die Anpassung von Design- und Prozessparametern sowie der Anpassung und des Einbettungsmaterialsystems der aktiven MoSi2-Heizschichten, sollen die Elektromigration der Dünnschicht und der elektrischen Kontakte, die Migration verringert und somit die Lebensdauer des Infrarotemitters signifikant erhöht werden. |
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Gefördert durch: | BMWI | |
Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
Förderkennzeichen: | 49MF190017 | |
Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MOEMS | |
News-Artikel zum Projekt EMIR: | ||
Fachmesse Sensor+Test und Kongress SMSI 30. April 2021 |
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