PIEZO - Berechnung und Verifikation von Piezokoeffizienten im Drucksensor-Design-Flow
Akronym: | PIEZO | |
Projektlaufzeit: | 01.07.2014 - 31.12.2016 | |
Beschreibung: | Im CiS werden extensiv halbleiterphysikalische Simulationwerkzeuge für das Design von Sensoren genutzt. Bei der Kennlinienberechnung piezoresistiver Widerstandsbrücken kommt es wiederholt zu Differenzen zu den an den realisierten Bauelementen gemessenen Kennlinien. Eine mögliche Ursache hierfür ist die Verwendung globaler piezoresistiver Konstanten über dem stark inhomogenen mechanischen Spannungsfeld, in dem die Widerstände liegen. Mittels einer lokalen quantenmechanischen Bestimmung dieser Piezo-Konstanten wurde diese Fehlerursache bewertet und eliminiert. Mit dem Projektergebnis können Sensormodelle generiert werden, die gemessene Kennlinien physikalisch sinnvoll nachbilden bzw. eine zielgenaue Voraussage des Sensorverhaltens ermöglichen. |
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Märkte: | Messtechnik, Automation | |
Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS |
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