Brückenförmiger Infrarot-Emitter auf SOI-Basis
| Akronym: | BRIE | |
| Projektlaufzeit: | 01.07.2026 - 31.12.2028 | |
| Beschreibung: | Im Projekt wird eine neue Technologie zur Herstellung von MEMS-Infrarotemittern auf Basis von Silicon-on-Insulator-(SOI-)Wafern entwickelt. Die dabei entstehende dünne Siliziummembran wird hoch dotiert, um als effiziente IR-Strahlungsquelle zu dienen. Die Membran wird partiell vom Chiprahmen freigestellt, sodass eine brückenförmige Heizermembran mit verbesserter thermischer Isolation und deutlich optimierten Strahlereigenschaften entsteht. | |
| Gefördert durch: | Bundesministerium für Wirtschaft und Energie |  |
| Projektträger: | Euronorm | |
| Förderkennzeichen: | 49MF250155 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MOEMS | |
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