Gezieltes Wachstum synthetischer Diamant-Schichten für Drucksensoren
| Akronym: | GeWaDiS | |
| Projektlaufzeit: | 01.05.2017 - 31.10.2019 | |
| Beschreibung: | Drucksensoren mit einer Passivierung aus synthetischem Diamant sind besonders medienresistent. Im Projekt wurde die effiziente Herstellung der Diamantschicht durch einfache, innovative Technologien geprobt, die aus anderen Bereichen der Mikrosystemtechnik adaptiert wurden. Dabei wurden Diamantschichten nur in den technisch relevanten Sensorbereichen synthetisiert. Gezielt wurden Saatkristalle in relevanten Sensorbereichen aufgebracht. Performancevorteile der Sensoren können nun ohne kostenintensive Technologien realisiert werden. |
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| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | MF160181 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser ehemaliges Geschäftsfeld Silizium-Detektoren | |
News-Artikel zum Projekt GeWaDiS: | ||
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Hasselt Diamond Workshop 2022 – SBDD XXVI mit Beteiligung des CiS Forschungsinstituts 3. März 2022 |
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GeWaDiS – Gezieltes Wachstum synthetischer Diamant-Schichten für Drucksensoren 6. Mai 2020 |
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