EUV-Bestrahlungsstärke über diamantbeschichtete Temperatursensoren
| Akronym: | DiaTemp | |
| Projektlaufzeit: | 01.09.2016 - 28.02.2019 | |
| Beschreibung: | Ziel war die Entwicklung einer kostengünstigen und mit CMOS/MEMS-kompatiblen Prozessen herstellbaren Detektorplattform für EUV-Strahlung aus einem Diamant-Absorber und einem Silizium-Temperatursensor. Ausgenutzt wurde, dass die Absorption von EUV Strahlung in der strahlenharten synthetisierten Diamantschicht zur Erwärmung führt und durch die sehr gute Wärmeleitung unmittelbar im Temperatursensor detektiert wird. Damit lässt sich die EUV-Strahlungsintensität über einen Silizium-Thermosensor bestimmen. Diese indirekte Methode erlaubt die Detektion kürzester Wellenlängen mit einem kostengünstigen und langzeitstabilen Aufbau. | |
| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | MF150194 | |
« zurück zur Projektübersicht
