Langzeitstabile Passivierungen von piezoresitiven Sensoren für anspruchsvolle Sensorumgebungen
| Akronym: | PassDru | |
| Projektlaufzeit: | 01.01.2018 - 30.06.2020 | |
| Beschreibung: | Sensoren für mechanische Größen erfordern den mechanischen Kontakt zur Messgröße. Der direkte Medienkontakt stellt jedoch für Mikrosensoren auf Siliziumbasis ein Problem dar. Um die Miniaturisierung vollständig ausnutzen zu können, wird der Korrosionsschutz auf Chipebene aufgebracht, damit die Anwendung in anspruchsvolleren Umgebungen auch ohne zusätzliche Schutzkonstruktionen möglich wird. Mit dem Fokus auf langzeitstabile Schutzschichten gegenüber Körperflüssigkeiten und extremen ph-Wert-Spreizungen wurden diverse Passivierungsschichten evaluiert, die sich in ihrer chemischen Zusammensetzung unterscheiden. Dotierungsanpassungen erhöhten die Beständigkeit des Siliziums als Basis piezoresistiver Drucksensoren. Mittels Demonstratoren wurde die Schutzwirkung der Passivierungsmaßnahmen geprüft. |
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| Gefördert durch: | BMWI |  |
| Projektträger: | EuroNorm GmbH | |
| Förderkennzeichen: | 49MF170089 | |
| Kontakt: | Kontaktieren Sie uns zu diesem Projekt über unser Geschäftsfeld MEMS | |
News-Artikel zum Projekt PassDru: | ||
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Kongressbeitrag über Passivierungsmöglichkeiten für MEMS-Sensoren auf der ACHEMA in Frankfurt 22. August 2022 |
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Mit Messestand auf der HM21 Digital Edition 12. April 2021 |
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Langzeitstabile Passivierungen von piezoresitiven Sensoren für anspruchsvolle Sensorumgebungen 11. Januar 2021 |
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