Die CiS Forschungsinstitut für Mikrosensorik GmbH präsentiert auf der Hannover Messe vom 12. bis 16. April 2021 aktuelle Forschungsthemen und Projektergebnisse in der Entwicklung siliziumbasierter MEMS- und MOEMS-Sensorkonzepte. Im Bereich MEMS liegt der Fokus auf Druck-, Kraft- und Cantilever-Sensoren, der Bereich MOEMS setzt den Schwerpunkt auf die Entwicklung optischer Sensoren im Spektralbereich von UV bis mittlerem Infrarot.
Im Rahmen der HMI 2021 stellen wir drei ausgewählte Projekte vor:
Im Projekt PassDru werden verschiedene Passivierungsschichten evaluiert, um die Langzeitstabilität der Schutzschichten auf siliziumbasierten piezoresistiven Sensoren gegenüber Körperflüssigkeiten oder extremen pH-Wert-Spreizungen zu erhöhen.
Palladium-beschichtete MEMS-Strukturen, die Si-MEMS-Drucksensoren ähneln, sind Gegenstand der Untersuchungen im Projekt H2MEMS und bilden die Basis für die Entwicklung leistungsfähiger Wasserstoffsensoren.
Thermopile-Sensoren verzeichnen seit dem Beginn der Pandemie ein stetig steigendes Marktwachstum. Die Forschungsarbeiten konzentrieren sich hier auf spezielle Strukturierungen der Silizumwafer.
Für weitere Gespräche stehen Ihnen auf unserem digitalen Messestand unsere beiden Geschäftsfeldleiter zur Verfügung. Wir freuen uns auf Sie – auch virtuell.
https://www.hannovermesse.de/aussteller/cis-forschungsinstitut-fuer-mikrosensorik/N1458949
